【摘要】本發(fā)明涉及微機械紅外熱電堆探測器結(jié)構(gòu)及其 制作方法,其特征在于作為紅外吸收層的懸浮膜結(jié)構(gòu)具有多種 形狀的腐蝕開口,使用各向同性的干法刻蝕從正面腐蝕襯底形 成懸浮膜結(jié)構(gòu)釋放器件。探測器的襯底和懸浮于框架中間的紅 外吸收層分別構(gòu)成熱電堆
【摘要】 平面產(chǎn)品,后視圖無設(shè)計要點,省略后視圖。 【專利類型】外觀設(shè)計 【申請人】上海工程技術(shù)大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】200336上海市長寧區(qū)仙霞路350號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】長寧區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630037924.5 【申請日】2006-06-20 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3634701D 【公開公告日】2007-04-18 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN3634701D 【授權(quán)公告日】2007-04-18 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】孫靜 【主權(quán)項內(nèi)容】無 【當前權(quán)利人】上海工程技術(shù)大學 【當前專利權(quán)人地址】上海市長寧區(qū)仙霞路350號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12310000425022547M
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