【摘要】本發(fā)明改進(jìn)的一次成型曲軸電渣熔鑄設(shè)備，采用了模架支柱、水冷主結(jié)晶器模體旋轉(zhuǎn)、滑移的特殊機(jī)構(gòu)系統(tǒng)，邊旋轉(zhuǎn)、滑移水冷主結(jié)晶器模體、邊逐步形成型腔形狀、邊連續(xù)熔鑄、邊改變型腔形狀，旋轉(zhuǎn)，滑移完畢、整體一次成型即將完畢的復(fù)合變形成型方式，水
【摘要】 本發(fā)明涉及一種光刻投影物鏡遠(yuǎn)心測(cè)量方法，利用一可起到孔徑光闌作用的專用遠(yuǎn)心掩模，并在該遠(yuǎn)心掩模上設(shè)置至少一個(gè)用以測(cè)量視場(chǎng)內(nèi)遠(yuǎn)心的通光孔，通過(guò)在不同的成像位置測(cè)量物體的像來(lái)確定通過(guò)該點(diǎn)的主光線，從而計(jì)算獲得遠(yuǎn)心；測(cè)量方法包括：傳感器掃描測(cè)量法、曝光測(cè)量法。其計(jì)算方法是，利用可代表一個(gè)通光孔在x或y方向的兩條邊的50％最大光強(qiáng)位置，計(jì)算這兩個(gè)位置的中心點(diǎn)坐標(biāo)，根據(jù)測(cè)量高度，利用線性直線方程，線性擬合出一條經(jīng)過(guò)通光孔中心點(diǎn)的光線軌跡，該光線軌跡與光軸的夾角即為遠(yuǎn)心度。利用本發(fā)明的測(cè)量方法可快速地測(cè)量出光刻機(jī)投影物鏡的遠(yuǎn)心度并獲得更高的測(cè)量精度。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】上海微電子裝備有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】201203上海市張江高科技園區(qū)張東路1525號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610029273.4 【申請(qǐng)日】2006-07-21 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN1888981A 【公開(kāi)公告日】2007-01-03 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100526990C 【授權(quán)公告日】2009-08-12 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號(hào)】G03F7/20 【發(fā)明人】楊之文 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種光刻投影物鏡遠(yuǎn)心測(cè)量方法，其特征在于： 利用一可起到孔徑光闌作用的專用遠(yuǎn)心掩模，并在該遠(yuǎn)心掩模上設(shè)置 至少一個(gè)用以測(cè)量視場(chǎng)內(nèi)遠(yuǎn)心的通光孔，通過(guò)在不同的成像位置測(cè)量物體 的像來(lái)確定通過(guò)該點(diǎn)的主光線，從而計(jì)算獲得遠(yuǎn)心； 所述的測(cè)量方法包括：可獲得更高精度的傳感器掃描測(cè)量法、可快速 測(cè)量遠(yuǎn)心的曝光測(cè)量法。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市浦東新區(qū)張東路1525號(hào) 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】91310000736664790J 【被引證次數(shù)】2 【被自引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】2
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