【摘要】一種專配噴油泵試驗臺用的標準高壓油管組件， 特別是用于標準噴油泵、標準高壓油管、標準噴油嘴 和基準噴油泵試驗臺相互校正的標準高壓油管組件， 它包括高壓油管、高壓油管護套和高壓油管管接螺 母，其高壓油管的內徑通過氣壓多功能液體清洗機清
【摘要】 本發(fā)明提供了一種消除光刻膠中氣泡的方法，具體工藝步驟為：對晶片進行第一次烘焙；沉積凸點下金屬層；形成光刻膠層；進行第二次烘焙。使用上述的方法能消除具有各種結構的晶片表面的氣泡，消除率達到99.9％。本發(fā)明還提供一種消除了光刻膠中氣泡的凸點制作方法，以提高凸點制作工藝的良品率。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201203上海市浦東新區(qū)張江路18號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610026756.9 【申請日】2006-05-22 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101078890A 【公開公告日】2007-11-28 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN101078890B 【授權公告日】2010-11-10 【授權公告年份】2010.0 【IPC分類號】G03F7/26; H01L21/00 【發(fā)明人】梅娜; 王津洲 【主權項內容】1.一種消除光刻膠中氣泡的方法，其特征在于包括下列步驟：對晶片進 行第一次烘焙；沉積凸點下金屬層；形成光刻膠層；進行第二次烘焙。 【當前權利人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 【當前專利權人地址】上海市浦東新區(qū)張江路18號 【專利權人類型】有限責任公司(外國法人獨資) 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310115710939629R 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】7 【他引次數(shù)】2.0 【被自引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】5.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】7
未經允許不得轉載：http://m.duba2008.cn/1775389651.html
喜歡就贊一下
