【摘要】本發(fā)明涉及的是一種半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域的量子邏輯器件的隧穿二極管制備方法。包括如下步驟:①用氣相外延方法生長(zhǎng)單晶硅薄膜和用等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積方法生長(zhǎng)硅量子點(diǎn)薄膜;②利用半導(dǎo)體量子輸運(yùn)方法對(duì)硅量子點(diǎn)共振隧穿二極管器件的隧穿電流特性進(jìn)
【專利類型】外觀設(shè)計(jì) 【申請(qǐng)人】上海聿威文具禮品有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】201106上海市閔行區(qū)吳漕路700號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630045841.0 【申請(qǐng)日】2006-11-28 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN300696284D 【公開(kāi)公告日】2007-10-03 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN300696284D 【授權(quán)公告日】2007-10-03 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】林澤宗 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】無(wú) 【當(dāng)前權(quán)利人】浙江蒙恬文具禮品有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】浙江省嘉興市桐鄉(xiāng)市桐鄉(xiāng)經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)校場(chǎng)西路818號(hào) 【專利權(quán)人類型】外商投資企業(yè)
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