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超聲波降低電鍍銅薄膜內(nèi)應(yīng)力的方法

時(shí)間:2026-04-07    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 一種材料技術(shù)的超聲波降低電鍍銅薄膜內(nèi)應(yīng)力的方法。本發(fā)明首先配制電鍍?nèi)芤海瑢⑹⒂须婂內(nèi)芤旱碾婂儾鄯胖糜诔曉〔蹆?nèi),控制電鍍?nèi)芤旱臏囟群碗娏髅芏?,通過(guò)改變電鍍時(shí)間得到相應(yīng)厚度的電鍍銅薄膜,其中:控制電鍍?nèi)芤旱臏囟仍?0-35攝氏度之間,電流密度在4-16A/dm2之間。本發(fā)明在不改變?cè)须婂冦~工藝的基礎(chǔ)上,將電鍍槽放置于超聲浴槽內(nèi),利用超聲作用降低電鍍銅薄膜的內(nèi)應(yīng)力,利用X射線衍射的方法對(duì)不同工藝電鍍銅薄膜的內(nèi)應(yīng)力進(jìn)行測(cè)量。結(jié)果顯示,利用超聲技術(shù)可以有效的降低電鍍銅薄膜的內(nèi)應(yīng)力。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】上海交通大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610118667.7 【申請(qǐng)日】2006-11-23 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1974870A 【公開公告日】2007-06-06 【公開公告年份】2007 【發(fā)明人】洪波; 姜傳海; 王新建; 董顯平; 王家敏 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種超聲波降低電鍍銅薄膜內(nèi)應(yīng)力的方法,其特征在于,首先配制電鍍 溶液,將盛有電鍍?nèi)芤旱碾婂儾鄯胖糜诔曉〔蹆?nèi),控制電鍍?nèi)芤旱臏囟群碗娏?密度,通過(guò)改變電鍍時(shí)間得到相應(yīng)厚度的電鍍銅薄膜,其中:控制電鍍?nèi)芤旱臏?度在30-35攝氏度之間,電流密度在4-16A/dm2之間。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交通大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】1210000042500615X0 【被引證次數(shù)】TRUE 【家族被引證次數(shù)】TRUE

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