【摘要】一種微細加工技術領域的順次多種等離子體處理碳納米管薄膜表面形貌的方法。本發(fā)明用不同種刻蝕氣體順次對碳納米管薄膜進行等離子體表面處理,具體為:先是一次或者多次使用化學反應性氣體,對碳納米管薄膜進行反應離子輔助等離子體處理;然后使用物理
【摘要】 1.請求保護的外觀設計包含有色彩。 2.本外觀設計產(chǎn)品為平面產(chǎn)品,省略其他視圖。 3.單元圖案四方連續(xù),無限定邊界。 【專利類型】外觀設計 【申請人】上海題橋紡織染紗有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201114上海市閔行區(qū)浦江鎮(zhèn)立躍路519號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630038829.7 【申請日】2006-07-12 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3661399D 【公開公告日】2007-06-27 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN3661399D 【授權公告日】2007-06-27 【授權公告年份】2007.0 【發(fā)明人】潘玉明; 董勤霞; 彭繼芝 【主權項內(nèi)容】無 【當前權利人】上海題橋紡織染紗有限公司 【當前專利權人地址】上海市閔行區(qū)浦江鎮(zhèn)立躍路519號 【專利權人類型】有限責任公司(自然人投資或控股) 【統(tǒng)一社會信用代碼】913101126320066543
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