【摘要】一種半導體光刻技術領域的基于多傳感器數據融合的硅片預定位系統(tǒng)。本發(fā)明中，傳感器模塊將檢測到的硅片信息連接到信號調理模塊，信號調理模塊對硅片信息進行調理，調理后的信號連接到數據采集模塊，數據采集模塊將信號調理模塊調理后的信號轉換成數據
【摘要】 一種在線測壓電動高溫三通Y球閥，芯帶型孔結構的球與閥體研磨吻合。永磁馬達轉子軸最上方露出方頭。永磁馬達定子上兩極電連接，由連接線與直流接觸器遠程開關或關閉電源。在高溫680℃情況下遠程控制永磁馬達在線測壓電動高溫管道的一進二出或一進一出，或一關一開，一開二關，三通目的。廣泛應用于油田開采，天然氣勘探試驗工程，高溫強腐蝕危險場合等工程。。 （macrodatas.cn） 【專利類型】實用新型 【申請人】上海海星閥門總廠 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201100上海市閔行區(qū)虹莘路618號總廠研發(fā)中心專利科 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620043050.9 【申請日】2006-06-22 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2921490Y 【公開公告日】2007-07-11 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN2921490Y 【授權公告日】2007-07-11 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】F16K11/087; F16K31/04; F16K37/00 【發(fā)明人】季祝華; 王建蓮 【主權項內容】一種在線測壓電動高溫三通Y球閥，由永磁馬達轉子頭，永磁馬達上軸承端蓋， 上軸承，永磁馬達殼體，永磁馬達轉子，永磁馬達永磁體，下軸承，連接螺栓，永 磁馬達下端軸承座蓋，螺栓，銷釘，定位器殼體，定位器芯，定位器轉子軸，定位 器轉子軸與球芯連接銷釘，定位器與球閥體中間架子，連接螺栓，球閥體，永磁馬 達電樁頭，直流電源線，直流接觸器，Y球閥芯，填料壓蓋螺釘，填料壓蓋，填料， 電動限位控制器，永磁馬達定子，上軸承蓋緊固螺栓，下填料墊，密封圈，球體，在 線測壓連接裝置，壓力表組成，其特征是蒙乃爾合金材質，芯帶型孔結構的球與閥體 在線測壓頭研磨吻合，球芯上方與旋轉方向定位裝置軸機械連接，永磁馬達定子上兩 極電連接，由連接線與直流接觸器遠程開關電連接。 【當前權利人】上海海星閥門總廠 【當前專利權人地址】上海市閔行區(qū)虹莘路618號總廠研發(fā)中心專利科 【專利權人類型】集體所有制
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