【摘要】本發(fā)明提供了一種帶開機提示音的投影機，包括殼體和設(shè)置在殼體內(nèi)的光引擎、電路板、點燈器、光源和散熱機構(gòu)，所述的投影機還包括開機提示音電路。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明由于在投影機中采用了開機提示音電路，在投影機開機時能夠向操作者自動發(fā)出提示
【摘要】 一種半導(dǎo)體光刻技術(shù)領(lǐng)域的基于多傳感器數(shù)據(jù)融合的硅片預(yù)定位系統(tǒng)。本發(fā)明中，傳感器模塊將檢測到的硅片信息連接到信號調(diào)理模塊，信號調(diào)理模塊對硅片信息進行調(diào)理，調(diào)理后的信號連接到數(shù)據(jù)采集模塊，數(shù)據(jù)采集模塊將信號調(diào)理模塊調(diào)理后的信號轉(zhuǎn)換成數(shù)據(jù)，并將轉(zhuǎn)換后的數(shù)據(jù)輸出到硅片形心缺口計算模塊，硅片形心缺口計算模塊對數(shù)據(jù)采集模塊轉(zhuǎn)換的數(shù)據(jù)進行處理，得到運動控制模塊的調(diào)整量，并將該調(diào)整量輸出到運動控制模塊，運動控制模塊根據(jù)硅片形心缺口計算模塊得到的調(diào)整量完成硅片定位的實際操作，限位控制模塊對運動控制模塊進行限位診斷和故障排除，運動控制模塊將部分信號輸出到信號處理模塊進行處理，為數(shù)據(jù)采集模塊提供外部時鐘信號。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】上海交通大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610148213.4 【申請日】2006-12-28 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1988127A 【公開公告日】2007-06-27 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100459095C 【授權(quán)公告日】2009-02-04 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號】H01L21/68; G03F7/20; G03F9/00; H01L21/67 【發(fā)明人】曹其新; 黃春霞; 劉仁強; 王美玲 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種基于多傳感器數(shù)據(jù)融合的硅片預(yù)定位系統(tǒng)，包括：傳感器模塊、信 號調(diào)理模塊、數(shù)據(jù)采集模塊、硅片形心缺口計算模塊、運動控制模塊、限位控制 模塊，其特征在于，傳感器模塊將檢測到的硅片信息連接到信號調(diào)理模塊，信號 調(diào)理模塊接收硅片信息后對其進行調(diào)理，調(diào)理后的信號連接到數(shù)據(jù)采集模塊，數(shù) 據(jù)采集模塊將信號調(diào)理模塊調(diào)理后的信號轉(zhuǎn)換成數(shù)據(jù)，并將轉(zhuǎn)換后的數(shù)據(jù)輸出到 硅片形心缺口計算模塊，硅片形心缺口計算模塊對數(shù)據(jù)采集模塊轉(zhuǎn)換的數(shù)據(jù)進行 處理，得到運動控制模塊的調(diào)整量，并將該調(diào)整量輸出到運動控制模塊，運動控 制模塊根據(jù)硅片形心缺口計算模塊得到的調(diào)整量完成硅片定位的實際操作，限位 控制模塊對運動控制模塊進行限位診斷和故障排除，運動控制模塊將部分信號輸 出到信號處理模塊進行進一步處理，為數(shù)據(jù)采集模塊提供外部時鐘信號。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交通大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號 【統(tǒng)一社會信用代碼】1210000042500615X0 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】6 【他引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】6.0 【家族引證次數(shù)】7.0 【家族被引證次數(shù)】6
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