【摘要】一種單粒子束刻蝕薄膜的單納米孔制作方法,屬于納米技術領域。本發(fā)明將固體絕緣薄膜置于帶有粒子檢測裝置的一個可水平旋轉(zhuǎn)的載體上,用單粒子束刻蝕該薄膜,單粒子束入射角大于等于9.6°、小于等于90°,并且單粒子束在該薄膜底部、頂部、或二者
【摘要】 1.請求保護的外觀設計包含色彩。 2.本外觀設計產(chǎn)品為平面產(chǎn)品,省略其他視圖。 3.單元圖案四方連續(xù),無限定邊界。 【專利類型】外觀設計 【申請人】上海聯(lián)樂實業(yè)有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201112上海市閔行區(qū)聯(lián)星路281號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630035013.9 【申請日】2006-03-31 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3614140D 【公開公告日】2007-02-28 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN3614140D 【授權公告日】2007-02-28 【授權公告年份】2007.0 【發(fā)明人】趙茂祥 【主權項內(nèi)容】無 【當前權利人】上海聯(lián)樂實業(yè)有限公司 【當前專利權人地址】上海市閔行區(qū)聯(lián)星路281號 【專利權人類型】其他有限責任公司 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310112133374145M
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