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單粒子束刻蝕薄膜的單納米孔制作方法

時間:2026-04-06    作者:admin 點擊: ( 1 ) 次

【摘要】 一種單粒子束刻蝕薄膜的單納米孔制作方法,屬于納米技術(shù)領域。本發(fā)明將固體絕緣薄膜置于帶有粒子檢測裝置的一個可水平旋轉(zhuǎn)的載體上,用單粒子束刻蝕該薄膜,單粒子束入射角大于等于9.6°、小于等于90°,并且單粒子束在該薄膜底部、頂部、或二者之間與薄膜旋轉(zhuǎn)軸交叉,待單粒子束完全穿透該薄膜后,固體絕緣薄膜底部的粒子監(jiān)測器反饋使該薄膜被穿透處與單粒子束相對移動1,再刻蝕,如此反復,直至固體絕緣薄膜旋轉(zhuǎn)一周,獲得圓臺形、雙倒圓臺形或圓筒形的單納米孔。本發(fā)明方法制備的單納米孔,孔徑在1個nm級可控,孔深在從級到μm級可控,適于分辨單鏈DNA或RNA分子的堿基組分和檢測雙鏈DNA分子的大小,為核酸測序提供了關(guān)鍵器件。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】上海交通大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610147232.5 【申請日】2006-12-14 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1986383A 【公開公告日】2007-06-27 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】B81B1/00; B81C5/00; G01N27/28; G01N27/416; B81C99/00 【發(fā)明人】王志民 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種單粒子束刻蝕薄膜的單納米孔制作方法,其特征在于,所述方法具 體為:將固體絕緣薄膜置于帶有粒子檢測裝置的一個可水平旋轉(zhuǎn)的載體上,用單 粒子束刻蝕固體絕緣薄膜,單粒子束入射角大于等于9.6°小于等于90°,并且 單粒子束在該薄膜底部、頂部、或二者之間與固體絕緣薄膜旋轉(zhuǎn)軸交叉,待單粒 子束完全穿透該薄膜后,固體絕緣薄膜底部的粒子監(jiān)測器反饋使載體旋轉(zhuǎn)一次, 使固體絕緣薄膜被穿透處與單粒子束相對移動1,再刻蝕,如此反復,直至固 體絕緣薄膜旋轉(zhuǎn)一周,獲得單納米孔。 www.macrodatas.cn 【當前權(quán)利人】上海交通大學 【當前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號 【統(tǒng)一社會信用代碼】1210000042500615X0 【引證次數(shù)】1.0 【被引證次數(shù)】2 【他引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】2

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    【摘要】1.件1左視圖與右視圖對稱,省略件1左視圖。 2.本外觀設計由件1、件2、件3組成,件2、件3套裝在件1上,使用時 移動件2即可實現(xiàn)其目的。【專利類型】外觀設計【申請人】上海稚宜樂商貿(mào)有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】2000

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    【摘要】1.后視圖與主視圖相同,省略后視圖。 2.左視圖與右視圖對稱,省略左視圖?!緦@愋汀客庥^設計【申請人】上海美捷商務咨詢有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】200051上海市中山西路555號綠洲大廈1107室【申請人地區(qū)】中國【

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    【摘要】省略其他視圖?!緦@愋汀客庥^設計【申請人】倪玉祥【申請人類型】個人【申請人地址】201100上海市羅錦路656弄羅陽四村57號603室【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】上海市【申請人區(qū)縣】閔行區(qū)【申請?zhí)枴緾N200630033694

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