【專利類型】外觀設(shè)計【申請人】寶美塑膠制品(上海)有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】200335上海市長寧區(qū)涇力西路395號2幢【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】上海市【申請人區(qū)縣】長寧區(qū)【申請?zhí)枴緾N200630034561.X【申請
【摘要】 本發(fā)明涉及一種全光學(xué)微機械非致冷紅外熱成像芯片的結(jié)構(gòu)及制作方法，所述的非制冷紅外熱成像芯片是由框架、彎折梁、可動微鏡和長條形開口組成，其中，框架與中間懸浮的可動微 鏡構(gòu)成像素元的冷結(jié)區(qū)和熱結(jié)區(qū)；彎折梁連接框架和可動微鏡；彎折梁由作為結(jié)構(gòu)的主要支撐材料的非金屬層、上金屬層和下金屬層組成，上金屬層與非金屬層構(gòu)成雙材料層使梁發(fā)生偏轉(zhuǎn)，下金屬層調(diào)節(jié)熱導(dǎo)；長條形開口是在可動微鏡上刻蝕的腐蝕窗口。利用〔100〕單晶硅各向異性腐蝕特性采用與(100)方向平行的開口通過正面腐蝕實現(xiàn)光機械敏感元結(jié)構(gòu)。由于芯片采用光學(xué)讀出，不需要復(fù)雜的讀出電路和致冷設(shè)備，具有價格低、體積小、功耗小等優(yōu)勢，特別適合制作佩戴式熱成像系統(tǒng)。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】200050上海市長寧區(qū)長寧路865號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】長寧區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610147625.6 【申請日】2006-12-20 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1994861A 【公開公告日】2007-07-11 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN1994861B 【授權(quán)公告日】2011-01-19 【授權(quán)公告年份】2011.0 【IPC分類號】B81B7/02; B81B5/00; B81C1/00; B81B7/00 【發(fā)明人】李鐵; 周玉修; 王翊; 熊斌; 王躍林 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種全光學(xué)微機械非制冷紅外熱成像芯片結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述 的非制冷紅外熱成像芯片是由框架(1)、彎折梁(2)、可動微鏡(3)和 長條形開口(4)組成，其中， (a)框架(1)與中間懸浮的可動微鏡(3)構(gòu)成像素元的冷結(jié)區(qū)和熱 結(jié)區(qū)； (b)彎折梁(2)連接框架(1)和可動微鏡(3)； (c)彎折梁(2)由非金屬層(5)、上金屬層(6)和下金屬層(7) 組成，非金屬層(5)作為結(jié)構(gòu)的主要支撐材料，上金屬層(6)與非金屬層 (5)構(gòu)成雙材料層使梁發(fā)生偏轉(zhuǎn)，下金屬層(7)調(diào)節(jié)熱導(dǎo)； (d)長條形開口(4)是在可動微鏡(3)上刻蝕的腐蝕窗口。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市長寧區(qū)長寧路865號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000425006790C 【被引證次數(shù)】1 【被他引次數(shù)】1.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】1
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