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一種集成電路制造中提高對準(zhǔn)精度的測試結(jié)構(gòu)

時間:2026-04-05    作者:admin 點擊: ( 2 ) 次

【摘要】 本實用新型公開了一種集成電路制造中提高對準(zhǔn)精度的測試結(jié)構(gòu),內(nèi)外對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)為正多邊形。其有益效果是不僅支持半導(dǎo)體工藝中普遍采用的X軸、Y軸兩維測試,更能夠滿足先進的對角線布局設(shè)計的需求,測試對角傾斜方向的套準(zhǔn)表現(xiàn),大大減少了數(shù)據(jù)處理運算時間并提高了相應(yīng)的精度,且多邊邊界分離的設(shè)計結(jié)構(gòu)提高了圖形對比度。 【專利類型】實用新型 【申請人】上海集成電路研發(fā)中心有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201203上海市張江高科技園區(qū)碧波路177號華虹科技園4樓 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620042880.X 【申請日】2006-06-19 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200983364Y 【公開公告日】2007-11-28 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN200983364Y 【授權(quán)公告日】2007-11-28 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號】H01L27/00; H01L23/544 【發(fā)明人】朱駿 【主權(quán)項內(nèi)容】權(quán)利要求書 1.一種集成電路制造中提高對準(zhǔn)精度的測試結(jié)構(gòu),包括內(nèi)外相互嵌 套且中心重合的兩部分對準(zhǔn)結(jié)構(gòu),其特征在于:內(nèi)部對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)為 正多邊形,其邊數(shù)至少為八,相應(yīng)地,外部對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)也為正多邊 形,其邊數(shù)與內(nèi)部對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)多邊形的邊數(shù)一致。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海集成電路研發(fā)中心有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市張江高科技園區(qū)碧波路177號華虹科技園4樓 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(國有控股) 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310115745635158X 【被引證次數(shù)】6 【被他引次數(shù)】6.0 【家族被引證次數(shù)】6

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    【摘要】通過萃取榔色黃皮葉,經(jīng)過分離提純,然后得到 具有下列結(jié)構(gòu)式的黃皮酰胺化合物(9)和黃皮酰胺化 合物(0)。化合物(0)化合物(9) 該等化合物在治療缺氧癥和健忘癥方面有效。【專利類型】發(fā)明申請【申請人】中國醫(yī)學(xué)科學(xué)院藥物研究所; 拜

    發(fā)布時間:2026-04-05

    【摘要】本發(fā)明是在傳統(tǒng)工藝基礎(chǔ)上增加了中溫精輾和整徑工序。精輾的輾壓輥采用了浮動式結(jié)構(gòu),整徑為磷化,皂化后在室溫下進行。由該工藝加工的軸承套圈鍛件,除倒角和清除飛邊需少量車削外,可直接進行磨加工。采用本工藝后可節(jié)約大量鋼材和電能,減少機加工

    發(fā)布時間:2026-04-05

    【摘要】種衣劑系用于種子包衣使良種標(biāo)準(zhǔn)化與病蟲綜合防治相結(jié)合的新產(chǎn)品。本發(fā)明前所用種子處理劑均未解決種衣在土中遇水只能吸脹而幾乎不被溶解掉。不影響種子發(fā)芽及兼具長效。廣譜、低殘留效果的關(guān)鍵配方。該發(fā)明所包括的十六個配方系分別由不同的農(nóng)藥組份

    發(fā)布時間:2026-04-05

    【摘要】1.該產(chǎn)品為平面產(chǎn)品。 2.后視圖無設(shè)計要點,省略后視圖。 3.請求保護的外觀設(shè)計包含色彩?!緦@愋汀客庥^設(shè)計【申請人】社團法人浦東新區(qū)工程師協(xié)會; 朵蘭【申請人類型】個人,機關(guān)團體【申請人地址】201203上海市張江高科技園區(qū)郭

    發(fā)布時間:2026-04-05

    【摘要】本發(fā)明涉及一種從源于費托合成的尾氣中回收 低碳烴的方法,該方法包括脫碳、初冷、水洗、脫水、減壓、 深冷、分餾等多個工藝步驟,可以獲得以C3-C5為主的低碳 烴類混合物。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明可以提高烴類產(chǎn)品的收 率,獲得較好的經(jīng)濟利

    發(fā)布時間:2026-04-05

    【摘要】本發(fā)明提供一種固定電話智能化系統(tǒng),它將用戶數(shù)據(jù)、邏輯號碼、物理號碼、簽約的智能業(yè)務(wù)信息接入碼進行查詢邏輯編輯;然后通過INAP信令協(xié)議進行查詢觸發(fā);業(yè)務(wù)觸發(fā)與智能業(yè)務(wù)邏輯模塊進行信息交換后,輸入到呼叫路由器中;以及呼叫篩選、登記端局

    發(fā)布時間:2026-04-05
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