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多弧-磁控濺射多功能鍍膜設備

時間:2026-03-27    作者:admin 點擊: ( 1 ) 次

【摘要】 多弧-磁控濺射多功能鍍膜設備,屬于一種鍍覆 設備。該設備在多弧離子鍍設備中通過法蘭密封在 真空室的頂部或底部的軸線上裝有磁控濺射靶(或加 熱器),每個弧源處裝有擋板(或拿掉擋板)。因此它 不僅能進行高溫鍍膜,又可在輝光放電下進行低熔點 的金屬與非金屬及塑料的高速低溫鍍膜,還可同時開 動弧源及磁控濺射靶進行鍍不同材質(zhì)、不同結構的多 層膜或合金膜,大大拓寬了多弧離子鍍設備的使用范 圍,增加了使用功能,節(jié)約了開支。 更多數(shù)據(jù):搜索馬克數(shù)據(jù)網(wǎng)來源:www.macrodatas.cn 【專利類型】實用新型 【申請人】航空航天工業(yè)部第五研究院五一一研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100029北京市785信箱 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】朝陽區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90226142.8 【申請日】1990-12-25 【申請年份】1990 【公開公告號】CN2086749U 【公開公告日】1991-10-16 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN2086749U 【授權公告日】1991-10-16 【授權公告年份】1991.0 【IPC分類號】C23C14/35 【發(fā)明人】張寶復; 王福柱; 張琦; 張云漢 【主權項內(nèi)容】來自馬-克-數(shù)-據(jù)-官網(wǎng) 。1、一種多弧-磁控濺射多功能鍍膜設備,主要由接真空機組的法蘭盤(1),用于安裝被鍍工件(2)的旋轉(zhuǎn)工件架(3)、真空室(8),裝在真空室壁上的多弧蒸發(fā)源(10),帶動旋轉(zhuǎn)工件架(3)的旋轉(zhuǎn)傳動輪(11),鍍膜用的充氣孔(12)等組成,其特征在于: a.在真空室(8)的軸線上裝有磁空濺射靶(7),該靶通過法蘭盤(5)固定在真空室(8)的頂部或底部,用密封圈(4)密封,由D~1200V直流電源(6)驅(qū)動磁空靶(7); b.在每個弧源(10)處裝有擋板(9)。 【當前權利人】航空航天工業(yè)部第五研究院五一一研究所 【當前專利權人地址】北京市785信箱 【被引證次數(shù)】9.0 【被他引次數(shù)】9.0 【家族被引證次數(shù)】9.0

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    發(fā)布時間:2026-03-27

    【摘要】省略其它視圖?!緦@愋汀客庥^設計【申請人】北京市木材工業(yè)研究所【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】100075北京市永外大紅門【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】北京市【申請人區(qū)縣】豐臺區(qū)【申請?zhí)枴緾N90300458.5【申請日】199

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