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螺栓型晶閘管制造方法

時間:2026-03-26    作者:admin 點擊: ( 3 ) 次

【摘要】 一種螺栓型晶閘管制造方法,屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明采用二次擴散法在原始N型硅片上形成P-N-P-N四層結(jié)構(gòu),用銀-銻合金片(Ag-Sb)代替金-銻合金片(Au-Sb)進(jìn)行燒結(jié)形成N+層和陰極電極。本發(fā)明與傳統(tǒng)的“擴散——合金法”、“雙擴散——鍍鎳法”及“雙擴散——超聲點焊法”等相比,具有以銀代金和工藝流程短、勞動強度低、產(chǎn)品合格率高等特點,因而特別適合于5~200A的中,小功率螺栓型晶閘管的批量生產(chǎn)。 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請人】郵電部武漢通信電源廠 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】湖北省武漢市漢口古田二路1號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】武漢市 【申請人區(qū)縣】東西湖區(qū) 【申請?zhí)枴緾N89104009.9 【申請日】1989-06-15 【申請年份】1989 【公開公告號】CN1014379B 【公開公告日】1991-10-16 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1014379B 【授權(quán)公告日】1991-10-16 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】H01L21/28; H01L21/324; H01L21/02 【發(fā)明人】張建華 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種螺栓型晶閘管制造方法,包括在1200 ~1300℃擴散爐中恒溫20~30h,使N型硅片擴 入P型雜質(zhì)(鋁或硼)形成P-N-P結(jié)構(gòu)的第一次 擴散、清除硅片陰極表面硼硅玻璃體(XB2O3· YSiO2)的拋光工序、在1100~1200℃氧化爐中交 替通以干氧-濕氧使硅片陰極表面形成二氧化硅層 (SiO2)的氧化工序、在光刻機上去除硅片陰極表面 二氧化硅層制出陰極圖形的光刻工序、在擴散爐中 通以三氯氧磷(POCl3)使硅片形成P-N-P-N四 層結(jié)構(gòu)的第二次擴散和在670~720℃燒結(jié)爐中恒 溫4~5min在硅片陽極燒結(jié)鉬片、鋁片及在陰極 P區(qū)燒結(jié)控制極點的燒結(jié)工序等,其特征在于在燒 結(jié)工序中: (1)軋沖制成銀-銻(Ag-Sb)所需形狀的合 金片; (2)燒結(jié)分二次進(jìn)行,在燒結(jié)鉬片、鋁片和 控制極點之前,先將經(jīng)二次擴散后具有P-N-P-N 四層結(jié)構(gòu)的硅片的陰極N層表面與銀-銻 (Ag-Sb)合金片置于800~830℃燒結(jié)爐中恒溫 5min進(jìn)行燒結(jié),制成N+層及陰極電極。 【當(dāng)前權(quán)利人】郵電部武漢通信電源廠 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】湖北省武漢市漢口古田二路1號 【引證次數(shù)】1.0 【他引次數(shù)】1.0 【家族引證次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】1.0

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