【摘要】一種在NPN型硅臺面高反壓管生產(chǎn)中的擴(kuò)鎵工藝，屬于NPN型硅臺面高反壓管生產(chǎn)工藝。將拋光、氧化后的硅片置于擴(kuò)散爐里進(jìn)行開管擴(kuò)鎵，先采用低濃度鎵摻雜，結(jié)深推移，后表面高濃度鎵摻雜，兩者在同一爐內(nèi)連續(xù)完成以形成P型基區(qū)，在磷擴(kuò)散再分布后
【摘要】 本發(fā)明利用兩套雙杠桿加力系統(tǒng)及對比試件法 量測高溫陶瓷材料的蠕變性能，可有效地消除加力系 統(tǒng)的熱膨脹，支座及爐膛受力變形，以及試件局部承 壓變形等帶來的誤差，大大提高了蠕變量測的準(zhǔn)確 性。雙杠桿加力系統(tǒng)測力的線性相關(guān)系數(shù)可達(dá) 0.9995，不受杠桿俯仰影響。在結(jié)構(gòu)不太復(fù)雜的情況 下，消除了往難以消除的誤差，提高了蠕變量測的準(zhǔn) 確性。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】清華大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】100084北京市海淀區(qū)清華園 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N89107018.4 【申請日】1989-09-14 【申請年份】1989 【公開公告號】CN1050262A 【公開公告日】1991-03-27 【公開公告年份】1991 【IPC分類號】G01N3/08; G01N25/00 【發(fā)明人】關(guān)振鐸 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種高溫陶瓷蠕變試驗(yàn)機(jī)，由高溫爐、加力、應(yīng)力應(yīng)變量測系統(tǒng)構(gòu)成，其特征在于，在同一高溫爐[1]內(nèi)，對稱地設(shè)置兩套雙杠桿加力系統(tǒng)[2](另一加力系統(tǒng)圖中略)，用砝碼[3]加固定載荷，其中一套加力系統(tǒng)[2]用以量測待測陶瓷試件[14]的蠕變。另一套加力系統(tǒng)用以量測對比試件[13]的蠕變。在上述雙杠桿加力系統(tǒng)杠桿的一端分別設(shè)置接觸式位移傳感器[4]，上述對比試件[13]的尺寸要比待測試件的尺寸要大。 【當(dāng)前權(quán)利人】清華大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華園 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000400000624D 【被引證次數(shù)】18.0 【被他引次數(shù)】18.0 【家族被引證次數(shù)】18.0
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