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一種在NPN型硅臺(tái)面高反壓管生產(chǎn)中的擴(kuò)鎵工藝

時(shí)間:2026-03-26    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 3 ) 次

【摘要】 一種在NPN型硅臺(tái)面高反壓管生產(chǎn)中的擴(kuò)鎵工藝,屬于NPN型硅臺(tái)面高反壓管生產(chǎn)工藝。將拋光、氧化后的硅片置于擴(kuò)散爐里進(jìn)行開管擴(kuò)鎵,先采用低濃度鎵摻雜,結(jié)深推移,后表面高濃度鎵摻雜,兩者在同一爐內(nèi)連續(xù)完成以形成P型基區(qū),在磷擴(kuò)散再分布后再進(jìn)行低溫短時(shí)間補(bǔ)鎵。鎵雜質(zhì)源由潮濕氫氣攜帶。本發(fā)明工藝簡單,彌補(bǔ)了已有工藝的不足,產(chǎn)品電參數(shù)有較大輻度提高,且一致性好。 (來源 馬克數(shù)據(jù)網(wǎng)) 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請人】山東師范大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】山東省濟(jì)南市文化東路 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】濟(jì)南市 【申請人區(qū)縣】歷下區(qū) 【申請?zhí)枴緾N88105238.8 【申請日】1988-04-02 【申請年份】1988 【公開公告號】CN1011932B 【公開公告日】1991-03-06 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1011932B 【授權(quán)公告日】1991-03-06 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】H01L21/223; H01L21/02; H01L21/225 【發(fā)明人】林玉松; 李萍 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種在NPN型硅臺(tái)面高反壓管生產(chǎn)中的擴(kuò) 鎵工藝,將拋光、氧化后的硅片置于擴(kuò)散里進(jìn)行開 管擴(kuò)鎵,本發(fā)明的特征是,先采用低濃度鎵摻雜, 結(jié)深推移,后表面高度鎵摻雜,兩者在同一爐內(nèi)連 續(xù)完成以形成P型基區(qū),在磷擴(kuò)散再分布后再進(jìn) 行低溫短時(shí)間補(bǔ)鎵,鎵雜質(zhì)源由潮濕氫氣體攜帶。 【當(dāng)前權(quán)利人】山東師范大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】山東省濟(jì)南市文化東路 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】1237000049557382XT 【家族被引證次數(shù)】2.0

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