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【摘要】 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種智能化光學(xué)薄膜全自動(dòng)監(jiān)控系統(tǒng)，包括：光源發(fā)射系統(tǒng)、聚光鏡、小孔光闌、監(jiān)控片、反射鏡、光譜儀和晶控儀，監(jiān)控片設(shè)置在真空室內(nèi)，光源發(fā)射系統(tǒng)引出兩路光信號(hào)，一路直接導(dǎo)入一單色儀，另一路依次通過(guò)聚光鏡、小孔光闌和反射鏡后入射到真空室內(nèi)，并在監(jiān)控片上形成光斑，由一光接收系統(tǒng)接收后，再分別導(dǎo)入單色儀和寬光譜儀。本實(shí)用新型把單波長(zhǎng)光學(xué)監(jiān)控法、晶控法、寬光譜光學(xué)監(jiān)控法的監(jiān)控裝置復(fù)合在一起，協(xié)調(diào)工作，在鍍膜的過(guò)程中實(shí)時(shí)地提供薄膜的多方位信息，實(shí)時(shí)地修正后續(xù)膜層參數(shù)及制備條件，用于實(shí)時(shí)地、全自動(dòng)地修正膜層誤差的影響。。微信 【專(zhuān)利類(lèi)型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】北京奧博泰科技有限公司; 賈秋平; 張喆民 【申請(qǐng)人類(lèi)型】企業(yè),個(gè)人 【申請(qǐng)人地址】100070北京市豐臺(tái)科技園區(qū)航豐路8號(hào)科研樓329室(園區(qū)) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】豐臺(tái)區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200620113727.1 【申請(qǐng)日】2006-05-09 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN2911757Y 【公開(kāi)公告日】2007-06-13 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN2911757Y 【授權(quán)公告日】2007-06-13 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類(lèi)號(hào)】G05D5/03; C23C14/54; C23C16/52; G05D5/00 【發(fā)明人】賈秋平; 張喆民; 盧維強(qiáng) 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種智能化光學(xué)薄膜全自動(dòng)監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，包括：光源 發(fā)射系統(tǒng)、聚光鏡、小孔光闌、反射鏡、監(jiān)控片、光譜儀和晶控儀，監(jiān) 控片設(shè)置在真空室內(nèi)，所述光源發(fā)射系統(tǒng)引出兩路光信號(hào)，一路直接導(dǎo) 入一單色儀，另一路依次通過(guò)所述聚光鏡、小孔光闌和反射鏡后入射到 所述真空室內(nèi)，并在所述監(jiān)控片上形成光斑，由一光接收系統(tǒng)接收后， 再分別導(dǎo)入所述單色儀和寬光譜儀；由所述單色儀出來(lái)的光經(jīng)過(guò)一A/D 模數(shù)采集卡轉(zhuǎn)換后，由一單片機(jī)進(jìn)行初步處理，并通過(guò)一網(wǎng)絡(luò)交換系統(tǒng) 傳輸?shù)揭辉O(shè)置有數(shù)據(jù)處理軟件的PC機(jī)上；所述晶控儀將幾何厚度、沉積 速率等信息通過(guò)所述網(wǎng)絡(luò)交換系統(tǒng)傳輸?shù)剿鯬C機(jī)上；所述寬光譜儀接 收的信號(hào)傳給所述PC機(jī)。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京奧博泰科技有限公司; 賈秋平; 張喆民 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】北京市豐臺(tái)科技園區(qū)航豐路8號(hào)科研樓329室(園區(qū)); ; 【專(zhuān)利權(quán)人類(lèi)型】有限責(zé)任公司(自然人投資或控股) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】91110106775475685M 【被引證次數(shù)】10 【被他引次數(shù)】10.0 【家族被引證次數(shù)】10

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