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硫化物輔助合成一維納米硅材料的方法

時間:2026-04-07    作者:admin 點擊: ( 1 ) 次

【摘要】 一種硫化物輔助合成一維納米硅材料的方法,屬于納米材料技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明步驟為:第一步,反應(yīng)在帶有低真空系統(tǒng)的臥式石英管式爐中進行,將干凈的硅片置于管式爐中央,同時把硫單質(zhì)或者含硫化合物置于石英管氣體通入的一側(cè);第二步,首先升溫到900℃,之后升溫到反應(yīng)溫度1050-1250℃。在溫度達到750℃時,通入惰性氣體;第三步,在反應(yīng)溫度1050-1250℃下,保持腔內(nèi)壓強4500Pa,反應(yīng)持續(xù)進行,反應(yīng)完后將反應(yīng)產(chǎn)物取出,在硅片表面得到大量一維納米硅材料。本發(fā)明工藝簡單易行,成本低廉,對環(huán)境無污染,采用惰性氣體保護,無明顯易燃危險原料,氣體價格低廉;收率高,設(shè)備簡單,可以連續(xù)化操作,適于批量合成。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】上海交通大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610117576.1 【申請日】2006-10-26 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1944250A 【公開公告日】2007-04-11 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】C01B33/027; C01B33/00 【發(fā)明人】??〗?【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種硫化物輔助合成一維納米硅材料的方法,其特征在于,采用IC工藝中常用的硅片作為反應(yīng)襯底和硅源,用硫單質(zhì)或含硫化和物作為反應(yīng)前驅(qū)體,以惰性氣體為保護氣體及載氣,進行氧化還原反應(yīng),分解出的硫被載氣帶到硅片表面與硅片發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成SiS化合物;將溫度再升高,SiS升華并分解出Si和SiS2,從而成核并形成一維納米硅結(jié)構(gòu)。 該數(shù)據(jù)由<馬克數(shù)據(jù)網(wǎng)>整理 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交通大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號 【統(tǒng)一社會信用代碼】1210000042500615X0 【被引證次數(shù)】5 【被他引次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】5

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