【摘要】本實用新型公開了一種消除靜電的羅拉皮輥牽伸結(jié)構(gòu)，包括兩個或兩個以上相對應(yīng)的皮輥和牽伸羅拉，在牽伸羅拉皮輥的牽伸區(qū)放置至少一根離子棒，所述離子棒通過導(dǎo)線與高壓發(fā)生器相連接。本實用新型由于在羅拉牽伸區(qū)內(nèi)放置了配有高壓發(fā)生器的離子棒，在空
【摘要】 本發(fā)明提供一種提高III－V族應(yīng)變多量子阱發(fā) 光強度的方法，其特征是通過離子刻蝕方法增強III－V族發(fā)光 材料的發(fā)光亮度。離子刻蝕覆蓋層采用感應(yīng)耦合等離子體(ICP) 或反應(yīng)離子(RIE)等刻蝕技術(shù)?？涛g所采用的氣體為Ar離子或 Ar離子和Cl2氣的混合氣體。干 法刻蝕后，刻蝕表面至量子阱層的距離大于刻蝕損傷深度時， 量子阱干法刻蝕部位發(fā)光強度得到明顯增強。本發(fā)明提供的方 法適用的III－V族化合物材料是由氣態(tài)源分子束外延(GSMBE) 或金屬有機物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)等方法生長所得，利用 本發(fā)明提供的方法可使應(yīng)變多量子阱發(fā)光強度提高3－5倍。。關(guān)注公眾號馬 克 數(shù) 據(jù) 網(wǎng) 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】200050上海市長寧區(qū)長寧路865號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】長寧區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610117154.4 【申請日】2006-10-13 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1933263A 【公開公告日】2007-03-21 【公開公告年份】2007 【發(fā)明人】吳惠楨; 曹萌; 勞燕鋒; 黃占超; 劉成; 謝正生 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種提高III-V族應(yīng)變多量子阱發(fā)光強度的方法，其特征在于具體步 驟是： a.將III-V族應(yīng)變多量子阱生長片解理為正方形或長方形； b.用等離子體增強化學(xué)氣相沉積方法對III-V族應(yīng)變量子阱生長片的表 面用Si3N4作掩膜進行保護； c.用氫氟酸將作保護的掩膜去除一半，使應(yīng)變量子阱生長片的一半表面 露出來； d.采用干法刻蝕方法對III-V族應(yīng)變量子阱生長片的覆蓋層進行刻蝕； e.刻蝕后用HF將剩余Si3N4掩膜去除。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市長寧區(qū)長寧路865號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000425006790C 【被引證次數(shù)】5 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】4.0 【家族被引證次數(shù)】5
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