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【摘要】 本發(fā)明涉及一種p型硫化銅透明導(dǎo)電薄膜的制備 方法。其特征在于利用在石英玻璃透明襯底表面與硅烷分子的 化學(xué)吸附使襯底表面形成單分子薄膜，然后浸入預(yù)先制備好的 CuxS前驅(qū)體溶液中。在單分子膜 的誘導(dǎo)下，通過控制薄膜的生長(zhǎng)溫度、時(shí)間以及前驅(qū)體溶液組 分配比可制備出不同電導(dǎo)率和透過率的薄膜。室溫條件下，該 薄膜的電導(dǎo)率可以達(dá)到105S/m 以上，可見光范圍內(nèi)平均透過率達(dá)60％以上，局部范圍透過率 可達(dá)80％以上。本發(fā)明設(shè)計(jì)思路獨(dú)特，原料廉價(jià)易得，薄膜致 密、均勻，表面光滑平整，與襯底附著性好，制備過程簡(jiǎn)單易 操作，可在復(fù)雜形狀的襯底上制膜，適于工業(yè)化大面積薄膜的 生產(chǎn)。所制備的p型CuxS透明 導(dǎo)電薄膜可應(yīng)用于平板顯示器、太陽能電池和發(fā)光二極管等光 電器件中。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所 【申請(qǐng)人類型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】200050上海市長(zhǎng)寧區(qū)定西路1295號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】長(zhǎng)寧區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610118270.8 【申請(qǐng)日】2006-11-10 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1949546A 【公開公告日】2007-04-18 【公開公告年份】2007 【IPC分類號(hào)】H01L31/18; H01L33/00; H01L21/288; H01L21/3205; C23C18/00 【發(fā)明人】劉付勝聰; 陳立東 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種p型硫化銅透明導(dǎo)電薄膜的制備方法，其特征是在預(yù)清洗好的 玻璃襯底表面自組裝形成一層單分子膜，將襯底浸入CuxS前驅(qū)體溶液之中， 在單分子膜的誘導(dǎo)下使薄膜成核與生長(zhǎng)，得到p型CuxS透明導(dǎo)電薄膜，x 介于1-2之間，具體步驟是： (a)清洗襯底：將石英玻璃襯底依次用去離子水、無水乙醇和丙酮超 聲波清洗，除去表面的油脂和污物，并干燥； (b)在襯底表面制備單分子膜：使用尾基為-SH、-NH2或-COOH或 -SO3H的活性基團(tuán)的三烷氧基硅烷，通過硅烷與玻璃襯底表面的化學(xué)反應(yīng)吸 附形成單分子膜，具體方法是：將一定量的硅烷溶解于無水乙醇和水的混合 液中，滴加酸作為水解催化劑且攪拌均勻，再將步驟(a)清洗后的襯底浸 入上述溶液中，靜置一段時(shí)間后取出，用去離子水清洗，經(jīng)干燥后即在襯底 表面自組裝形成硅烷單分子膜； (c)前驅(qū)體溶液的制備：首先稱取一定量無機(jī)銅鹽溶解于水中，加入 熬合劑，混合均勻。然后在攪拌狀態(tài)下加入一定量的氨水，形成藍(lán)色溶液。 最后加入硫脲作為硫源，并均勻攪拌； (d)CuxS薄膜的制備：將步驟(b)自組裝形成硅烷單分子膜的襯底放 入步驟(c)制備的前驅(qū)體溶液中，密閉反應(yīng)容器，然后將反應(yīng)容器放入水 浴內(nèi)，控制水浴溫度，CuxS在單分子膜的誘導(dǎo)下成核與生長(zhǎng)，逐漸形成連續(xù) 致密的CuxS薄膜。經(jīng)一段時(shí)間后將薄膜取出，并用去離子水清洗薄膜表面， 并自然干燥； 所述的三烷氧基硅烷溶解于無水乙醇和水的混合液中的濃度為 0.02-0.04g/ml，作為水解催化劑的酸與三烷氧基硅烷的質(zhì)量比為0.05-0.15； 所述的銅鹽和硫胺的摩爾比為1∶0.2-2.5，溶液pH值為8-12； 所述的水浴溫度為20-99℃。。 （macrodatas.cn） 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市長(zhǎng)寧區(qū)定西路1295號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000425006547H 【被引證次數(shù)】11 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】10.0 【家族被引證次數(shù)】11

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