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可釋放熱失配應(yīng)力的硅基碲鎘汞凝視紅外焦平面器件芯片

時(shí)間:2026-04-06    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本發(fā)明公開了一種可釋放熱失配應(yīng)力的硅基碲鎘汞凝視紅外焦平面器件芯片,該芯片包括Si襯底,與Si襯底牢固結(jié)合的碲鎘汞外延薄膜,通過常規(guī)的器件芯片制備工藝在碲鎘汞外延薄膜上形成的光敏元列陣,在每10-20個(gè)光敏元間的隔離區(qū),均勻地置有通過等離子體刻蝕形成的可釋放熱失配應(yīng) 力的小孔,從而使焦平面器件芯片在室溫—低溫(80K)的溫度循環(huán)過程中,熱失配應(yīng)力在局部小區(qū)域得到釋放,使整個(gè)焦平面范圍內(nèi)的光敏元性能不因?yàn)闊崾鋺?yīng)力而導(dǎo)致失效,提高芯片的可靠性。 數(shù)據(jù)由馬 克 團(tuán) 隊(duì)整理 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 【申請(qǐng)人類型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】200083上海市玉田路500號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】虹口區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610148070.7 【申請(qǐng)日】2006-12-27 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1988166A 【公開公告日】2007-06-27 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100444393C 【授權(quán)公告日】2008-12-17 【授權(quán)公告年份】2008.0 【IPC分類號(hào)】H01L27/144 【發(fā)明人】胡曉寧; 葉振華; 何力 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種可釋放熱失配應(yīng)力的硅基碲鎘汞凝視紅外焦平面器件芯片,該芯片包括<211>晶向的Si襯底(1),與Si襯底牢固結(jié)合的碲鎘汞外延薄膜(2),通過常規(guī)的器件芯片制備工藝在碲鎘汞外延薄膜上形成的光敏元列陣(3),其特征在于: 在每10-20個(gè)光敏元間的隔離區(qū),均勻地置有通過等離子體刻蝕形成的小孔(4),小孔尺度小于有效光敏元面積的1%,小孔深度為碲鎘汞外延薄膜的厚度,小孔內(nèi)表面置有鈍化層。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市玉田路500號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000425005579K 【被引證次數(shù)】7 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】6.0 【家族引證次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】7

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