【摘要】一種長圓筒內(nèi)表面激光處理的方法和裝置，其主要特征是采用＜6毫弧度的激光束發(fā)散角等工藝條件對被旋轉(zhuǎn)在可以產(chǎn)生螺旋運動的激光裝置上的長圓筒進行硬化處理，所述的激光裝置中的反射鏡為球面聚焦反射鏡，螺旋面的掃描是通過圓筒的轉(zhuǎn)動與球面聚焦反射
【摘要】 本發(fā)明書提供了一種濕化學(xué)法制備錳鈷鎳 (MnCoNi)薄膜材料的新型方法，完全改變了傳統(tǒng)的制備工藝。 此方法可以在較低溫度下制備出大面積均勻、穩(wěn)定的MnCoNi 薄膜熱敏材料，并可以與硅工藝兼容，突破傳統(tǒng)陶瓷器件的局 限性，以滿足當(dāng)代航空航天技術(shù)對該類器件的要求。 來自馬-克-數(shù)-據(jù)-官網(wǎng) 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】200083上海市玉田路500號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】虹口區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610030144.7 【申請日】2006-08-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1908229A 【公開公告日】2007-02-07 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100443631C 【授權(quán)公告日】2008-12-17 【授權(quán)公告年份】2008.0 【IPC分類號】C23C18/02; C23C18/08; C23C18/00 【發(fā)明人】侯云; 黃志明; 葛玉建; 蔡愚; 禇君浩 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種錳鈷鎳薄膜熱敏材料的制備方法，其特征在于具體步驟如下： A.前驅(qū)體溶液的配制： 溶質(zhì)采用醋酸錳、醋酸鈷、醋酸鎳，其配比為Mn∶Co∶Ni＝47-57∶29-35∶ 14-18(原子比)，溶劑使用冰醋酸； 將醋酸鹽按上述比例稱好溶于冰醋酸中，加熱此溶液至30～60℃，并不斷 攪拌直至醋酸鹽完全溶解，最后冷卻至室溫；前驅(qū)體溶液的濃度可以根據(jù)薄膜 單層厚度的需要來調(diào)節(jié)； B.薄膜的制備： 將上述配制好的前驅(qū)體溶液滴到襯底上，用勻膠機將溶液均勻甩開，勻膠 速度為2000～4000轉(zhuǎn)/分，時間為15-30秒，勻膠得到濕膜；然后將濕膜與襯底 一起置于快速退火爐中進行熱處理，條件為：升溫至150～250℃保持5-10分鐘； 再從150～250℃升溫至400～700℃保持6-10分鐘；重復(fù)上述的旋涂勻膠和熱處 理過程，直至得到所需厚度的薄膜。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市玉田路500號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000425005579K 【被引證次數(shù)】17 【被自引次數(shù)】15.0 【被他引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】17
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