【摘要】一種能將紫外線變成可見光的高溫玻璃材料，屬于玻璃材料領(lǐng)域。用SiO2含量超過96％的微孔玻璃，往其中摻硝酸鈰、硝酸鋁的水溶液或硝酸鈰、硝酸錳、硝酸鋁的水溶液，經(jīng)過干燥，在還原條件下燒結(jié)，制得含Ce3++Al3+或Ce、Mn2++A1
【摘要】 本發(fā)明提供了一種用于光學(xué)顯微鏡下的標(biāo)記工具，包括滑動(dòng)導(dǎo)軌、一對導(dǎo)向桿、油印頭及卡套，實(shí)現(xiàn)了快速、準(zhǔn)確、方便地標(biāo)記，避免了晶圓代工廠中對晶圓進(jìn)行標(biāo)記是人工操作的所帶來的諸多問題。 來自：馬 克 團(tuán) 隊(duì) 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201203上海市浦東新區(qū)張江路18號(hào) 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610027450.5 【申請日】2006-06-08 【申請年份】2006 【公開公告號(hào)】CN101086950A 【公開公告日】2007-12-12 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100466165C 【授權(quán)公告日】2009-03-04 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號(hào)】H01L21/00; B41K3/00 【發(fā)明人】季春葵; 張啟華; 董偉淳; 梁山安 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種用于光學(xué)顯微鏡下的標(biāo)記工具，包括一滑動(dòng)導(dǎo)軌、放置在 滑動(dòng)導(dǎo)軌上的一對導(dǎo)向桿、以及導(dǎo)向桿上可沿導(dǎo)向桿移動(dòng)的標(biāo)記件，其 特征在于整套工具的高度小于顯微鏡鏡頭到晶圓的高度。 【當(dāng)前權(quán)利人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司; 中芯國際集成電路制造(北京)有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市浦東新區(qū)張江路18號(hào); 北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道18號(hào) 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(外國法人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】91310115710939629R 【被引證次數(shù)】3 【被他引次數(shù)】3.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】3
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