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磁盤表面參數(shù)測量儀

時間:2026-04-03    作者:admin 點擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本發(fā)明涉及一種對磁盤盤片進行高精度、多種參 數(shù)測量的表面參數(shù)測量儀,屬測量儀器技術(shù)領(lǐng)域。本 發(fā)明利用激光外差非接觸測量方法,實現(xiàn)對磁盤盤片 幾何參數(shù)的測量。本儀器用氣浮導(dǎo)軌驅(qū)動光學(xué)傳感 器作徑向進給運動,用氣浮軸承驅(qū)動被測磁盤盤片作 回轉(zhuǎn)運動,當(dāng)被測盤片相對于光學(xué)傳感器在垂直于測 量軸的平面內(nèi)作回轉(zhuǎn)運動時,光學(xué)傳感器沿導(dǎo)軌作徑 向運動,并對盤片作徑向掃描,此時就獲得整個盤片 的信息。本測量儀可以同時對金屬與非金屬盤片進 行盤片面形——平面度的測量,又能對中等規(guī)模輪廓 波度及盤片外徑至內(nèi)徑的輪廓進行測量。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】清華大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】100084北京市海淀區(qū)清華園 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N91103616.4 【申請日】1991-06-05 【申請年份】1991 【公開公告號】CN1055813A 【公開公告日】1991-10-30 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1018761B 【授權(quán)公告日】1992-10-21 【授權(quán)公告年份】1992.0 【IPC分類號】G01B11/00; G11C11/14; G11C11/02 【發(fā)明人】曹芒; 李達成; 趙洋; 王佳 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種磁盤表面參數(shù)測量儀,包括氣浮導(dǎo)軌及其驅(qū)動系統(tǒng)、氣浮軸承及其驅(qū)動系統(tǒng)、氣浮平臺、空氣凈化器、減壓調(diào)壓系統(tǒng),其特征在于還包括磁盤夾持器、光學(xué)傳感器、采樣控制器和電控系統(tǒng),磁盤夾持器上放有被測磁盤,并由氣浮軸承及驅(qū)動系統(tǒng)使其轉(zhuǎn)動,光學(xué)傳感器置于氣浮導(dǎo)軌上,由驅(qū)動系統(tǒng)使其作直線運動,氣浮軸承和氣浮導(dǎo)軌都置于氣浮平臺上,采樣控制器連接氣浮軸承和電控系統(tǒng)。 該數(shù)據(jù)由<馬克數(shù)據(jù)網(wǎng)>整理 【當(dāng)前權(quán)利人】清華大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華園 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000400000624D 【被引證次數(shù)】4.0 【被他引次數(shù)】4.0 【家族被引證次數(shù)】5.0

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