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氫敏元件及制造法

時(shí)間:2026-04-03    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本發(fā)明氫敏元件及制造方法,其特征在于所述的 氫敏元件是一種改質(zhì)處理金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏元 件的敏感膜,形成具有分子篩過濾功能的二氧化硅氫 氣透過膜的改質(zhì)型金屬氧化物半導(dǎo)體氫敏元件。其 制造方法是將按傳統(tǒng)工藝制備的包括氫氣在內(nèi)的金 屬氧化物半導(dǎo)體氣敏元件放置于特定的有機(jī)硅鹽氣 氛中熏陶,自然生長(zhǎng)一定厚度的二氧化硅氫氣透過 膜。本發(fā)明氫敏元件具有對(duì)氫氣的高選擇性和響應(yīng) 性優(yōu)良效果。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】穆寶貴; 黎麗琳 【申請(qǐng)人類型】個(gè)人 【申請(qǐng)人地址】150010黑龍江省哈爾濱市道里區(qū)太陽島通江晶體管廠 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】哈爾濱市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】道里區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N90104738.4 【申請(qǐng)日】1990-07-17 【申請(qǐng)年份】1990 【公開公告號(hào)】CN1048770A 【公開公告日】1991-01-23 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN1018780B 【授權(quán)公告日】1992-10-21 【授權(quán)公告年份】1992.0 【IPC分類號(hào)】H01L49/00; G01N27/12 【發(fā)明人】穆寶貴; 黎麗琳 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、包括氫氣在內(nèi)的金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏元件經(jīng)表面改質(zhì)處理而形成的一種氫敏元件,其特征在于所述的氣敏元件的金屬氧化物半導(dǎo)體敏感膜附有一層二氧化硅氫氣透過膜; 【當(dāng)前權(quán)利人】穆寶貴; 黎麗琳 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】黑龍江省哈爾濱市道里區(qū)太陽島通江晶體管廠; 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】10.0 【他引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】10.0 【家族引證次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】10.0

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