【摘要】一種安全炮竹編排機(jī)，由編排板[1]、大盤[12]、托 板[23]、皮帶[7]、支桿[10]等所組成。其特征在于：空 心軸[8]里面有編排板[1]，轉(zhuǎn)子[6]外圓上有固針線板 [21]、線團(tuán)[5]、轉(zhuǎn)子[6]兩端面有鋸齒牙[17]，轉(zhuǎn)
【摘要】 本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體基質(zhì)材料上獲得原子級(jí)晶 格材料的方法及專用生長設(shè)備。在一透明室內(nèi)注入 氣相材料，并維持10-2托以下的真空條件，采用燈加 熱使氣相材料反應(yīng)在基底表面反應(yīng)淀積，反應(yīng)淀積溫 度在氣相材料、熱解溫度或其它臨界反應(yīng)溫度之上， 重復(fù)上述過程可以獲得多層同質(zhì)或異質(zhì)超晶格材料， 最佳生長溫度控制在氣相材料熱解溫度或臨界反應(yīng) 溫度以上附近的溫區(qū)。專用生長設(shè)備包括常規(guī) CVD設(shè)備、抽真空設(shè)備及燈加熱設(shè)備、質(zhì)量流量控 制器，尤以計(jì)算機(jī)控制為佳。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】南京大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】210008江蘇省南京市漢口路南京大學(xué) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】南京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】鼓樓區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N90105603.0 【申請(qǐng)日】1990-01-10 【申請(qǐng)年份】1990 【公開公告號(hào)】CN1053511A 【公開公告日】1991-07-31 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN1024236C 【授權(quán)公告日】1994-04-13 【授權(quán)公告年份】1994.0 【IPC分類號(hào)】H01L21/205; C30B25/00; C23C16/00; H01L21/02 【發(fā)明人】鄭有炓; 張榮; 胡立群; 江若璉; 莫水元; 李學(xué)寧; 陳藝文 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種在半導(dǎo)體基質(zhì)材料上獲得原子級(jí)晶格材料的方法，在一生長室內(nèi)，注入氣相材料，其特征是采用燈加熱使氣相材料在基底表面反應(yīng)淀積，反應(yīng)淀積溫度在氣相材料熱解溫度或其它臨界反應(yīng)溫度以上，生長室為帶有透明窗或全透明的生長室，并在高真空條件下生長。 【當(dāng)前權(quán)利人】南京大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】江蘇省南京市漢口路南京大學(xué) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000466007458M 【被引證次數(shù)】3.0 【被他引次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】3.0
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