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減壓真空導(dǎo)入裝置

時(shí)間:2026-03-29    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 0 ) 次

【摘要】 本實(shí)用新型提供一種減壓真空導(dǎo)入裝置,涉及真 空技術(shù)領(lǐng)域。該裝置用波紋管把運(yùn)動(dòng)導(dǎo)入工作真空 腔室,波紋管的一側(cè)為工作真空腔室,它的另一側(cè)處 于粗密封環(huán)境,并與一減壓裝置相接通,工作時(shí)形成 低真空,使波紋內(nèi)外壁的壓差大幅度減小,從而有利 于導(dǎo)入件的運(yùn)動(dòng),動(dòng)作靈活,響應(yīng)時(shí)間短。該裝置可 廣泛用于執(zhí)行各種真空環(huán)境中的運(yùn)動(dòng)。。數(shù)據(jù)由馬 克 團(tuán) 隊(duì)整理 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】230026安徽省合肥市金寨路96號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】合肥市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】蜀山區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N90209351.7 【申請(qǐng)日】1990-06-29 【申請(qǐng)年份】1990 【公開(kāi)公告號(hào)】CN2074023U 【公開(kāi)公告日】1991-03-27 【公開(kāi)公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN2074023U 【授權(quán)公告日】1991-03-27 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】G03F7/20 【發(fā)明人】錢石南; 劉萬(wàn)波; 劉澤文; 闞婭 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種減壓真空導(dǎo)入裝置,它包括有驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)1,導(dǎo)入件2和波紋管3,其特征在于所述波紋管的內(nèi)外壁面中的一面處于工作真空腔室4中,另一面處于粗密封環(huán)境5中,該粗密封環(huán)境5與減壓裝置8相接通。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】安徽省合肥市金寨路96號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000485001086E 【被引證次數(shù)】3.0 【被他引次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】3.0

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