【摘要】本實(shí)用新型是一種光刻機(jī)的自動(dòng)調(diào)焦裝置，屬于 對(duì)已有光刻機(jī)自動(dòng)調(diào)焦裝置中的調(diào)平機(jī)構(gòu)，調(diào)焦機(jī)構(gòu) 的進(jìn)一步改進(jìn)。其特征在于調(diào)平機(jī)構(gòu)中，調(diào)平板由一 壓緊裝置固定，分別由螺紋副和電機(jī)組成的三個(gè)支撐 裝置，活動(dòng)地支撐著調(diào)平板，由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和
【摘要】 一種高效、多功能復(fù)合式液體分布器，主要是由 設(shè)置于填料壓圈之上的若干個(gè)小槽所構(gòu)成的副分配 槽和在該槽之上并于之垂直的主分配槽及可設(shè)置于 副分配槽各小槽兩側(cè)的或填料壓圈之上的擋液板所 構(gòu)成。該液體分布器具有分布液體均勻，氣通截面積 大，操作彈性大等特點(diǎn)，可廣泛用于大中小型填料塔 上作為液體分布器或再分布器，故在新塔的設(shè)計(jì)過(guò)程 和老塔的改造中均可采用。 【專(zhuān)利類(lèi)型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】天津大學(xué) 【申請(qǐng)人類(lèi)型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】天津市南開(kāi)區(qū)七里臺(tái) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】天津市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】南開(kāi)區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N90200617.7 【申請(qǐng)日】1990-01-11 【申請(qǐng)年份】1990 【公開(kāi)公告號(hào)】CN2069751U 【公開(kāi)公告日】1991-01-23 【公開(kāi)公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN2069751U 【授權(quán)公告日】1991-01-23 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類(lèi)號(hào)】B01J19/32 【發(fā)明人】王樹(shù)楹; 翟建華 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】來(lái)源：百度搜索馬克數(shù)據(jù)網(wǎng) 1、一種高效、多功能復(fù)合式液體分布器，其特征是由設(shè)置在填料壓圈7上的副分配槽2和放置該槽之上并與其垂直的主分配槽1及設(shè)置在副分槽各小槽兩側(cè)或填料壓圈7上的擋液板6所構(gòu)成。 【當(dāng)前權(quán)利人】天津大學(xué) 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】天津市南開(kāi)區(qū)七里臺(tái) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000401359321Q 【被引證次數(shù)】3.0 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】2.0 【家族被引證次數(shù)】3.0
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