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直立多片擠壓式液相外延石墨舟

時(shí)間:2026-03-28    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 2 ) 次

【摘要】 本實(shí)用新型是一種直立多片擠壓式液相外延石 墨舟。采用襯底直立方式,可同時(shí)生長10片以上芯 片。源液槽帶有過濾板和壓塊,能有效地除去源液中 的氧化膜。該石墨舟的特點(diǎn)在于芯片產(chǎn)量高,外延層 的厚度均勻,表面平整光亮,成品率高。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】中科院長春物理研究所 【申請(qǐng)人類型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】130021吉林省長春市延安大路1號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】長春市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】朝陽區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N90223211.8 【申請(qǐng)日】1990-11-05 【申請(qǐng)年份】1990 【公開公告號(hào)】CN2080070U 【公開公告日】1991-07-03 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN2080070U 【授權(quán)公告日】1991-07-03 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】C30B19/06 【發(fā)明人】何勝夫; 羅宗鐵; 董萍; 魏文超; 李向文; 趙宇 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種液相外延石墨舟,其特征是源液槽2,生長室1和廢液槽8三部分均置于石墨外罩箱10中。 【當(dāng)前權(quán)利人】中科院長春物理研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】吉林省長春市延安大路1號(hào) 【被引證次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】2.0 【家族被引證次數(shù)】2.0

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