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具有新型聲鏡的反射式聲顯微鏡

時間:2026-03-28    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本發(fā)明屬于聲顯微、機(jī)械掃描成象等技術(shù)領(lǐng)域, 可廣泛用于材料、微電子、光電子等技術(shù)領(lǐng)域的無損 傷檢測、評估與觀察。本發(fā)明采用新型聲鏡、新型步 進(jìn)電機(jī)驅(qū)動電源,由通用微機(jī)構(gòu)成機(jī)械掃描、高頻部 件控制和成象系統(tǒng)比平面換能器型藍(lán)寶石聲鏡分辨 率高而價格卻低數(shù)十倍;比專用微機(jī)功能強(qiáng)通用性 好,用戶使用方便,此外還具有高效、低噪聲等特點(diǎn)。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】清華大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】100084北京市海淀區(qū)清華園 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90101053.7 【申請日】1990-03-08 【申請年份】1990 【公開公告號】CN1054667A 【公開公告日】1991-09-18 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1019919C 【授權(quán)公告日】1993-02-17 【授權(quán)公告年份】1993.0 【IPC分類號】G01N29/06; G01N29/10; G01S15/00; G01S15/89; G10K11/00; G10K11/30 【發(fā)明人】陳戈林; 胡思正; 李德杰; 羅淑云; 申忠明; 張克潛 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種具有新型聲鏡的反射式聲顯微鏡,由脈沖形成和聲信號檢測電路組成,其特征在于采用帶有保護(hù)裝置及高硬度耐磨保護(hù)膜的玻璃金屬球面換能器型聲鏡,保護(hù)裝置可以是加在玻璃柱外的套;采用一臺通用微機(jī)構(gòu)成機(jī)械掃描、高頻部件控制、圖象顯示、存儲和處理系統(tǒng);采用具有新型驅(qū)動電路的步進(jìn)電機(jī)來驅(qū)動聲鏡位移和機(jī)械掃描,而觀察點(diǎn)的選擇由程序控制實(shí)現(xiàn),新型驅(qū)動電路是其功率放大器工作在截止-放大工作狀態(tài),利用晶體管動態(tài)電阻保證步進(jìn)電機(jī)高速運(yùn)轉(zhuǎn)。 【當(dāng)前權(quán)利人】清華大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華園 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000400000624D 【被引證次數(shù)】5.0 【被他引次數(shù)】5.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】26.0

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