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多路復用激光調(diào)頻外差干涉光纖維測量儀

時間:2026-03-27    作者:admin 點擊: ( 2 ) 次

【摘要】 一種多路復用激光調(diào)頻外差干涉光纖位移測量 儀,屬于對位移量的精密測量。本發(fā)明采用同一光源 的光引入光纖網(wǎng)絡回路中形成多個光纖干涉儀,經(jīng)頻 域濾波分別同時進行檢測各個干涉信號。本發(fā)明適 用于多點(維)遠距離同時檢測,每一路的測量范圍不 小于1mm,測量精度不低于0.05μm,并適用于表面 粗糙度具有3以上光潔度的物體的測量,具有靈敏 度高,抗電磁干擾,非接觸式測量等優(yōu)點,本發(fā)明測頭 體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、成本較低、具有廣闊的應用領域。。來源:馬 克 數(shù) 據(jù) 網(wǎng) 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】清華大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】100084北京市海淀區(qū)清華園 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90110041.2 【申請日】1990-12-29 【申請年份】1990 【公開公告號】CN1052369A 【公開公告日】1991-06-19 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1019145B 【授權(quán)公告日】1992-11-18 【授權(quán)公告年份】1992.0 【IPC分類號】G01B9/02; G01B11/02 【發(fā)明人】田芊; 鄭剛; 李達成; 梁晉文 【主權(quán)項內(nèi)容】1、多路復用激光調(diào)頻外差干涉光纖位移測量儀,由半導體激光器、激光調(diào)頻電源、耦合透鏡、光纖和光纖定向耦合器、光纖測頭、光電檢測器及信號檢測系統(tǒng)等部件所組成,其特征在于由所說的耦合透鏡、光纖及定向耦合器構(gòu)成的光纖網(wǎng)絡回路,組成多個共光源光纖外差干涉儀,即由所說的半導體激光發(fā)出的頻率被調(diào)制的激光經(jīng)所說的耦合透鏡進入光纖,該光纖另一端與所說的定向耦合器相連,所說激光束經(jīng)該定向耦合器分成多束激光由多路光纖分別導出,每路光纖輸出端裝有所說的測頭,該路光束的一部分由該測頭出射到被測物點,反射后經(jīng)該測頭進入光纖作為探測頭,該光束的另一部分經(jīng)測頭端面直接反射返回光纖作為參考光,所說探測光與參考光共光路,它們相互干涉后由所說的光電檢測器接收,構(gòu)成一個光纖外差干涉儀,同樣所說的各路光構(gòu)成多個光纖外差干涉儀。 【當前權(quán)利人】清華大學 【當前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華園 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000400000624D 【被引證次數(shù)】16.0 【被他引次數(shù)】16.0 【家族被引證次數(shù)】18.0

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