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蒸金光刻網(wǎng)狀電極及其制備

時間:2026-03-27    作者:admin 點擊: ( 2 ) 次

【摘要】 本發(fā)明涉及一種光譜電化學(xué)用光透薄層蒸金光刻網(wǎng)狀電極?,F(xiàn)有金網(wǎng)價格昂貴,又要手工制作成電極,不但使電極規(guī)格不一,而且脆弱不耐用。本發(fā)明采用集成電路掩膜光刻技術(shù)在石英片或光學(xué)玻璃片上光刻金網(wǎng),制成面積為25×8mm2的電極。本方法工藝成熟、價格低,制成的金網(wǎng)電極堅固耐用,光透范圍廣,規(guī)格統(tǒng)一,易工業(yè)化生產(chǎn),是光譜電化學(xué)技術(shù)中理想的電極。。 (來源 馬克數(shù)據(jù)網(wǎng)) 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請人】復(fù)旦大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】200433上海市邯鄲路220號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】普陀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90102815.0 【申請日】1990-03-17 【申請年份】1990 【公開公告號】CN1014459B 【公開公告日】1991-10-23 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1014459B 【授權(quán)公告日】1991-10-23 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】G01N27/30 【發(fā)明人】鄧家祺; 方志烈; 吳性良; 楊清河; 鄧子峰; 陳航 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種光譜電化學(xué)用蒸金光刻網(wǎng)狀電極,網(wǎng)孔大小為400~600目,其特 征在于金網(wǎng)以石英片或光學(xué)玻璃片為載體,在石英片或光學(xué)玻璃片與金網(wǎng)之間 鍍有過渡金屬鉻,鉻層厚度為100~200A,金網(wǎng)是由蒸鍍在鉻層上的厚度為2~4μm 金膜經(jīng)光刻面獲得的。 【當(dāng)前權(quán)利人】復(fù)旦大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市邯鄲路220號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000425006117P 【家族被引證次數(shù)】1.0

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