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雙島五梁結(jié)構(gòu)單塊硅加速度傳感器

時間:2026-03-27    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體硅加速度傳感器的領(lǐng) 域。硅芯片采用雙島五梁的微機(jī)械結(jié)構(gòu),力敏元件集 中在二維圖形對稱中心的梁區(qū)上,因而可消除或顯著 減小橫向效應(yīng),得到橫向效應(yīng)小,靈敏度高而工藝可 控性好的單塊硅加速度傳感器。。(來 自 馬 克 數(shù) 據(jù) 網(wǎng)) 【專利類型】實(shí)用新型 【申請人】復(fù)旦大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】200433上海市邯鄲路220號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】普陀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90215390.0 【申請日】1990-10-19 【申請年份】1990 【公開公告號】CN2076240U 【公開公告日】1991-05-01 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN2076240U 【授權(quán)公告日】1991-05-01 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】G01P15/08; G01D5/12 【發(fā)明人】鮑敏杭; 陳健; 沈紹群 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種由矩形硅芯片、力敏元件(力敏電阻)按通常工藝制作、封裝而成的微機(jī)械結(jié)構(gòu)加速度傳感器,其特征在于硅芯片中間部分為兩個位置對稱的、相同的、形似長方形的島區(qū)(質(zhì)量塊),兩個島區(qū)之間由位于圖形對稱中心的硅梁(中心梁)連接,兩島區(qū)與四周邊框由島兩角處的4個硅梁連接,島區(qū)與邊框之間,島與島之間除連接梁外,其余部分為穿透區(qū),力敏元件集中制作在中心梁上。 【當(dāng)前權(quán)利人】復(fù)旦大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市邯鄲路220號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000425006117P 【被引證次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】1.0

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