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微位移爬行器

時(shí)間:2026-03-27    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本實(shí)用新型公開一種改進(jìn)的采用壓電陶瓷的微 位移爬行器,用于光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡和掃描隧 道電子顯微鏡等樣品架的微量位移,其爬行步長(zhǎng)為每 步幾百納米。采用P51壓電陶瓷;兩個(gè)吸定腳是下 表面具有SiO2絕緣層的硅片;基面用大硅片制得,其 上表面也是SiO2絕緣層,其下表面加以金屬化;用導(dǎo) 電膠將二個(gè)吸定腳粘在壓電陶瓷伸縮部分上。本實(shí) 用新型制作簡(jiǎn)單,爬行可靠。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】西安交通大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】陜西省西安市咸寧路28號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】西安市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】碑林區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N89208274.7 【申請(qǐng)日】1989-06-01 【申請(qǐng)年份】1989 【公開公告號(hào)】CN2071346U 【公開公告日】1991-02-13 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN2071346U 【授權(quán)公告日】1991-02-13 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】G02B21/34 【發(fā)明人】宋建平 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種改進(jìn)的用于顯微鏡樣品架微量位移的微位移爬行器,由壓電陶瓷伸縮部分[1]和兩個(gè)吸定腳[3]組成,兩個(gè)吸定腳[3]下表面為絕緣層,微位移爬行器安放在一個(gè)平整光滑的基面上,其特征是:(1)兩個(gè)吸定腳[3]用薄硅片拋光成鏡面制得,下表面生成SiO2作絕緣層;(2)基面用大硅片拋光成鏡面,上表面生成SiO2作絕緣層,下表面金屬化后制得電極;(3)用導(dǎo)電膠將兩個(gè)吸定腳[3]粘在壓電陶瓷伸縮部分[1]兩頭,在導(dǎo)電膠凝固的24小時(shí)內(nèi),把微位移爬行器加鎮(zhèn)壓物置于已制得的基面上。 【當(dāng)前權(quán)利人】西安交通大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】陜西省西安市咸寧路28號(hào) 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000435230200R 【被引證次數(shù)】3.0 【被他引次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】3.0

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