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表面三維形貌非接觸測(cè)量?jī)x

時(shí)間:2026-03-26    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 0 ) 次

【摘要】 本發(fā)明涉及一種表面三維形貌非接觸測(cè)量?jī)x,屬 光學(xué)測(cè)量?jī)x器,用于測(cè)量表面微觀幾何形貌及粗糙 度。本測(cè)量?jī)x主要由光源,起偏器,分光棱鏡,顯微物 鏡,1/4波片,檢偏器,光電面陣探測(cè)器等組成,與已 有技術(shù)相比,本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于測(cè)量分辨率高,移相 器件的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,移相精度較高,兩束干涉光通過(guò)同 一光路,受到外界干擾相同,對(duì)干涉光強(qiáng)影響較小,因 此系統(tǒng)對(duì)機(jī)械振動(dòng)和強(qiáng)度的影響不敏感,在一般生產(chǎn) 環(huán)境中就可以使用本儀器。 【專(zhuān)利類(lèi)型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】清華大學(xué) 【申請(qǐng)人類(lèi)型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】北京市海淀區(qū)清華園 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N89108641.2 【申請(qǐng)日】1989-11-23 【申請(qǐng)年份】1989 【公開(kāi)公告號(hào)】CN1051975A 【公開(kāi)公告日】1991-06-05 【公開(kāi)公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN1016895B 【授權(quán)公告日】1992-06-03 【授權(quán)公告年份】1992.0 【IPC分類(lèi)號(hào)】G01B11/30; G01B9/02 【發(fā)明人】薛實(shí)福; 李慶祥; 高宏; 嚴(yán)普強(qiáng) 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種由光源,顯微物鏡,目鏡,光電面陣探測(cè)器等組成的表面三維形貌非接觸測(cè)量?jī)x,其特征在于所述的測(cè)量?jī)x還包括起偏器,分光棱鏡,1/4波片和檢偏器。 (來(lái) 自 馬 克 數(shù) 據(jù) 網(wǎng)) 【當(dāng)前權(quán)利人】清華大學(xué) 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華園 【專(zhuān)利權(quán)人類(lèi)型】公立 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000400000624D 【引證次數(shù)】1.0 【被引證次數(shù)】14.0 【他引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】14.0 【家族引證次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】15.0

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