【摘要】一種含H2和CO的氮基還原性氣氛的生產(chǎn)方法，是將甲醇與空氣(以氧計)按0.67-3∶1克分子比通入含有耐磨的燃燒、裂解雙功能催化劑的流化床反應器內(nèi)，在常壓250-700℃下同時進行燃燒、裂解反應，反應所得氣體混合物冷卻、凈化。這種工
【摘要】 一種復合式分子泵，由渦輪分子泵級與復合排氣系統(tǒng)串聯(lián)而成。其復合排氣系統(tǒng)由外側圓周上是渦輪短葉齒，內(nèi)側圓盤面上為抽氣溝槽的復合式動葉輪與靜葉輪相匹配，并同圓柱螺旋齒動隔離環(huán)復合而成。本發(fā)明結構簡便，運行安全可靠，工作范圍及真空性能大大超過了渦輪分子泵，可滿足化工、半導體、微電子、核電子、能源、宇航等領域的等離子研究課題物理氣相沉積、化學氣相沉積的需要。 詳見官網(wǎng)：www.macrodatas.cn 【專利類型】發(fā)明授權 【申請人】中國科學院北京真空物理實驗室 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】北京市海淀區(qū)中關村2724信箱 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N88104185.8 【申請日】1988-07-12 【申請年份】1988 【公開公告號】CN1012518B 【公開公告日】1991-05-01 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN1012518B 【授權公告日】1991-05-01 【授權公告年份】1991.0 【IPC分類號】F04D19/04; F04D19/00 【發(fā)明人】朱岳; 王孝珍; 龐世瑾 【主權項內(nèi)容】1.一種復合式分子泵，由渦輪分子泵級與復合 排氣系統(tǒng)串聯(lián)而成，該渦輪分子泵級設置在泵殼內(nèi) 靠近入口端，由交錯排列的渦輪動葉輪和渦輪靜葉 輪組成，渦輪動葉輪固定在轉軸上，渦輪靜葉輪固 定在泵殼內(nèi)，該復合排氣系統(tǒng)設置在泵殼內(nèi)靠近出 口端，其特征在于該復合排氣系統(tǒng)具有交錯排列的 帶渦輪短葉齒的動葉輪和靜葉輪，所述的動葉輪固 定在同一轉軸上，所述的靜葉輪固定在泵殼內(nèi)，相 鄰的所述動葉輪由固定在同一轉軸上的動隔離環(huán)間 隔開，所述動葉輪內(nèi)側盤面上設有抽氣溝槽。所述 動隔離環(huán)圓周表面設有圓柱螺旋齒。 【當前權利人】中國科學院北京真空物理實驗室 【當前專利權人地址】北京市海淀區(qū)中關村2724信箱 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】1.0 【自引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族引證次數(shù)】2.0 【家族被引證次數(shù)】9.0
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