【摘要】本發(fā)明用于物料的重量(質(zhì)量)的在線測量，如生產(chǎn)過程的配料控制或運(yùn)輸計(jì)量，由放射源，探測器，測速傳感器(或測量長度傳感器)及二次儀表構(gòu)成。其二次儀表包括米脈沖發(fā)生器、對(duì)數(shù)比值模擬數(shù)字變換器、變換器時(shí)間常數(shù)調(diào)節(jié)電路及累加計(jì)數(shù)器構(gòu)成，由米
【摘要】 一種適用于開管鎵擴(kuò)散的石英管制造工藝，利用Si3N4膜可屏蔽鎵元素的原理，在CVD爐中通入硅烷和氨氣。使之發(fā)生熱分解反應(yīng)，在普通石英擴(kuò)散管壁上生成一層Si3N4薄膜。使用該類石英管擴(kuò)鎵生產(chǎn)的半導(dǎo)體器件在穩(wěn)定擴(kuò)散參數(shù)條件下，電參數(shù)的一致性和重復(fù)性好，該類石英管的壽命比普通石英管大大延長。 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請(qǐng)人】山東師范大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】山東省濟(jì)南市文化東路 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】濟(jì)南市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】歷下區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N87101336.3 【申請(qǐng)日】1987-05-13 【申請(qǐng)年份】1987 【公開公告號(hào)】CN1014701B 【公開公告日】1991-11-13 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN1014701B 【授權(quán)公告日】1991-11-13 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】C03C17/30; H01L21/02; C03B20/00; C03C17/28; H01L21/34 【發(fā)明人】田淑芬; 薛成山 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種適用于開管鎵擴(kuò)散的石英管制造工藝， 將石英管用常規(guī)清洗洗干凈后。烘干，投入CVD 爐中。其特征在于，CVD爐溫調(diào)在400℃-1300℃ 之間，在此溫度段內(nèi)任取一定溫度定好。恒溫10 分鐘后，向石英管中通入硅烷和氨氣在N2或H2 的負(fù)載氣氛中進(jìn)行熱分解生成一層厚度為 0.1-0.5μm的Si3N4層。 【當(dāng)前權(quán)利人】山東師范大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】山東省濟(jì)南市文化東路 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】1237000049557382XT 【家族被引證次數(shù)】1.0
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