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一種盤形渦輪復(fù)合分子泵

時(shí)間:2026-03-25    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 3 ) 次

【摘要】 本發(fā)明涉及一種具有過渡結(jié)構(gòu)部分的盤形渦輪復(fù)合分子泵。泵芯結(jié)構(gòu)從高真空端到低真空端依渦輪部分、過渡部分、盤形部分的順序串聯(lián)而成。過渡部分中的每一級由一片帶有渦輪葉齒的旋轉(zhuǎn)動圓盤和一片在盤面上開有特定線形抽氣溝槽的定圓盤組成。這種泵在高真空區(qū)和低真空區(qū)工作時(shí)都能得到理想的大流量和高壓縮比。 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請人】中國科學(xué)院北京真空物理實(shí)驗(yàn)室 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】北京市海淀區(qū)中關(guān)村 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N87103994.X 【申請日】1987-06-03 【申請年份】1987 【公開公告號】CN1013050B 【公開公告日】1991-07-03 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1013050B 【授權(quán)公告日】1991-07-03 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】F04D19/04; F04D19/00 【發(fā)明人】朱岳; 王孝珍; 竺長新 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種由軸流渦輪分子泵級與徑流盤形分子泵級組成的復(fù)合分子泵,該泵的渦輪分 子泵級設(shè)置在泵殼內(nèi)靠近入口端,由交錯排列的渦輪動葉輪和渦輪靜葉輪組成,渦輪動 葉輪固定在轉(zhuǎn)軸上,渦輪靜葉輪固定在泵殼內(nèi),盤形分子泵級設(shè)置在泵殼內(nèi)靠近出口端 ,由交錯排列的平板動時(shí)輪和盤面開有線形抽氣溝槽的靜葉輪組成,平板動葉輪與渦輪 動葉輪固定在同一轉(zhuǎn)軸上,靜葉輪固定在泵殼內(nèi),其特征在于該泵的渦輪分子泵級與盤 形分子泵級的聯(lián)接處具有由外圓為渦輪短葉齒內(nèi)側(cè)為平板圓盤的動葉輪與在圓盤面上開 有若干個(gè)沿圓周均勻分布呈放射狀的圓弧線形或?qū)?shù)線形或直線形抽氣溝槽定圓盤構(gòu)成 的過渡級銜接結(jié)構(gòu)。。詳見官網(wǎng):www.macrodatas.cn 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院北京真空物理實(shí)驗(yàn)室 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)中關(guān)村 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】1.0 【他引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族引證次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】11.0

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