【摘要】一種四塔多模式制氮機(jī)，包括四個吸附罐16、17、 18、19、一個氮?dú)夤?1、四個吸附罐進(jìn)氣閥2、4、6、8、四 個吸附罐出氣閥3、5、7、9、四個氣動閥10、吸附罐進(jìn)氣管 道20、吸附罐出氣管道15和控制裝置13。吸附罐進(jìn)氣管道2
【摘要】 一種提高小尺寸鐘罩容積測量準(zhǔn)確度的校準(zhǔn)裝 置主要由蓄水容器、4個位于玻璃管拐角處的排氣閥、8個玻 璃旋塞閥、球形玻璃容器、電磁截止閥、硅膠管、細(xì)管針頭式 排水管和小口徑稱量筒等組成，玻璃管路為整個裝置的主體結(jié) 構(gòu)；校準(zhǔn)方法包括準(zhǔn)備步驟和校準(zhǔn)步驟，準(zhǔn)備步驟需按照校準(zhǔn) 裝置接好管路后，進(jìn)行管路補(bǔ)水和排氣、調(diào)定補(bǔ)水流量、調(diào)定 排水流量、提升鐘罩，校準(zhǔn)工作通過n≥6次，完成全部校準(zhǔn) 工作。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)超小尺寸鐘罩計量容積(最小容積達(dá)到10ml) 的高準(zhǔn)確度校準(zhǔn)，進(jìn)而提高以超小尺寸鐘罩為主標(biāo)準(zhǔn)器的微小 氣體流量校準(zhǔn)裝置的流量測量準(zhǔn)確度水平。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】北京航天計量測試技術(shù)研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100076北京市9200信箱24分箱 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】豐臺區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610145875.6 【申請日】2006-11-21 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1948930A 【公開公告日】2007-04-18 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100434880C 【授權(quán)公告日】2008-11-19 【授權(quán)公告年份】2008.0 【IPC分類號】G01F25/00 【發(fā)明人】李強(qiáng); 楊宏海 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種提高小尺寸鐘罩容積測量準(zhǔn)確度的校準(zhǔn)裝置，其特征在于：玻 璃管路為整個裝置的主體結(jié)構(gòu)，包括：蓄水容器(19)、位于蓄水容器(19) 出口處的第一旋塞閥(3)、與第一旋塞閥(20)一端相接的硅膠管(16)、 與硅膠管(16)另一端相接的第二旋塞閥(14)，第二旋塞閥(14)的另 一端經(jīng)過玻璃管向上拐角，再經(jīng)過第一排氣閥(13)后與第三旋塞閥(12) 相接，第三旋塞閥(12)的輸出端經(jīng)過玻璃管后分接三路，第一路經(jīng)過玻璃 管與第四旋塞閥(15)相接，第四旋塞閥(15)相接的輸出經(jīng)過玻璃管接 至球形玻璃容器(18)，第二路經(jīng)過玻璃管向上拐角，再經(jīng)第二排氣閥(11) 后與電磁截止閥(7)相接，電磁截止閥(7)再經(jīng)過玻璃管與第五旋塞閥(6) 相接，第五旋塞閥(6)的輸出經(jīng)過玻璃管接至球形玻璃容器(18)，第三 路經(jīng)過玻璃管向上拐角后與第六旋塞閥(5)相接，玻璃管向上再向下拐角， 再經(jīng)過第三排氣閥(3)后接第七旋塞閥(4)，第七旋塞閥(4)接細(xì)管針 頭式排水管(8)，在細(xì)管針頭式排水管(8)的下部設(shè)有小口徑稱量筒(9)， 在球形玻璃容器(18)頂部進(jìn)氣口處的兩端分別接有第四排氣閥(21)和 第八旋塞閥(22)，其中第八旋塞閥22)經(jīng)過玻璃管接至鐘罩調(diào)節(jié)閥(2) 后，與鐘罩(1)相連接。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京航天計量測試技術(shù)研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市豐臺區(qū)9200信箱24分箱 【被引證次數(shù)】6 【被他引次數(shù)】6.0 【家族引證次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】6
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