【摘要】后視圖、左視圖、右視圖與主視圖相同，省略后視圖、左視圖、右視 圖。來自馬克數(shù)據(jù)網(wǎng)【專利類型】外觀設(shè)計【申請人】上海陶瓷博覽中心有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】200001上海市黃浦區(qū)南京東路558號五樓【申請人地區(qū)】中國【申
【摘要】 本實用新型公開一種三維電子散斑干涉儀，包括 儀器框架和安裝在框架上的儀器，所述儀器包括：至少一激光 器、一第一旋轉(zhuǎn)反射鏡、W場光路、U場光路、V場光路、以 及一干涉接收機構(gòu)；其中包括U場、V場、W場光路的出射 光互相正交，每個場光路上都設(shè)置有用于時間相移的相移器和 用于空間相移的載波片及其步進電機。本實用新型通過三個場 光路分別獲得獨立的 U場、V場、W場位移分量，既簡化了程序運算，又能獲得更 高的精確度，同時可以采用時間相移方法或者空間相移方法測 量被測物的三維位移量，實現(xiàn)三維直接測量結(jié)果數(shù)字化。 馬 克 數(shù) 據(jù) 網(wǎng) 【專利類型】實用新型 【申請人】中國船舶重工集團公司第七一一研究所 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】200011上海市南江路18號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】黃浦區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620039994.9 【申請日】2006-03-08 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2881538Y 【公開公告日】2007-03-21 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN2881538Y 【授權(quán)公告日】2007-03-21 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】陸鵬; 張熹; 吳君毅; 夏遠富; 艾鋼; 曾憲友; 鄭長江; 顧愛中 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種三維電子散斑干涉儀，包括儀器框架和安裝在框架上的儀器，其特征 在于，所述儀器包括：至少一激光器、一第一旋轉(zhuǎn)反射鏡、W場光路、U場光路、 V場光路、以及一干涉接收機構(gòu)； 所述激光器發(fā)出特定波長的單模激光； 所述第一旋轉(zhuǎn)反射鏡設(shè)于所述激光器光路上，使從激光器發(fā)射的激光反射 至W場光路、或U場光路、或者V場光路； 所述干涉接收機構(gòu)設(shè)于儀器框架中心，與被測物表面正對； 所述W場光路包括： 一分光元件，設(shè)于第一旋轉(zhuǎn)反射鏡反射光路上，將激光分為兩束； W場的時間相移光路，包括設(shè)置在分光元件的透射光路上的第一擴束鏡、 分光鏡以及用于引導(dǎo)光束的一第二旋轉(zhuǎn)反射鏡和至少一反射鏡；所述分光鏡設(shè) 于干涉接收機構(gòu)與被測物表面之間，將光束分別透射和反射給被測物表面和一 參考面，并將被測物表面和參考面的反射光分別透射和反射給干涉接收機構(gòu)； W場的時間相移光路還包括一W場相移器，其設(shè)于所述參考面后； W場的空間相移物光光路，包括一第二擴束鏡和一設(shè)于第二擴束鏡出射光 路上的W場載波片；所述擴束鏡將第二旋轉(zhuǎn)反射鏡的反射光擴束后，經(jīng)W場 載波片照射所述被測物表面； W場空間相移參考光路，包括設(shè)置在分光元件的反射光路上的雙偏振片、 光閘、一第三擴束鏡、一漫射鏡以及用于引導(dǎo)光束的多個反射鏡；從所述第三 擴束鏡透射的激光經(jīng)所述漫射鏡射至所述干涉接收機構(gòu)； 所述U場光路包括：一分光鏡、第一、第二擴束鏡和用于引導(dǎo)光束的多個 反射鏡；所述多個反射鏡包括對稱設(shè)于儀器框架左右兩側(cè)的第一反射鏡和第二 反射鏡，所述多個反射鏡將自分光鏡透射和反射的光分別自第一反射鏡和第二 反射鏡射出，并匯聚到所述被測物表面，所述第一、第二擴束鏡分別設(shè)于所述 第一反射鏡和第二反射鏡的入射光路上；U場光路還包括：U場相移器，設(shè)于 第一反射鏡后；U場載波片，設(shè)于第二反射鏡和第二擴束鏡之間； 所述V場光路包括：一分光鏡、第一、第二擴束鏡和用于引導(dǎo)光束的多個 反射鏡；所述多個反射鏡包括對稱設(shè)于儀器框架上下兩側(cè)的第一反射鏡和第二 反射鏡，所述多個反射鏡將自分光鏡透射和反射的光分別自第一反射鏡和第二 反射鏡射出，并匯聚到所述被測物表面，所述第一、第二擴束鏡分別設(shè)于所述 第一反射鏡和第二反射鏡的入射光路上；V場光路還包括：V場相移器，設(shè)于 第一反射鏡后；V場載波片，設(shè)于第二反射鏡和第二擴束鏡之間； 所述W場載波片、U場載波片、V場載波片各與一步進電機傳動相連。 【當前權(quán)利人】中國船舶重工集團公司第七一一研究所 【當前專利權(quán)人地址】上海市南江路18號 【被引證次數(shù)】2 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】2
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