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數(shù)字電子剪切散斑干涉儀

時間:2026-04-09    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 3 ) 次

【摘要】 本實(shí)用新型公開一種數(shù)字電子剪切散斑干涉儀,包括一激光器、一擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、一剪切鏡、一剪切鏡驅(qū)動機(jī)構(gòu)、一偏振片、一數(shù)字化成像裝置以及一計(jì)算機(jī),其中剪切鏡可更換為大剪切鏡或小剪切鏡;剪切鏡驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括一水平位移裝置和一垂直位移裝置,其分別通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動,使剪切鏡及偏振片沿平行和垂直于反射光束的方向移動,步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)動受所述計(jì)算機(jī)輸出的脈沖控制。本實(shí)用新型的數(shù)字電子剪切散斑干涉儀實(shí)現(xiàn)了大、小電子散斑干涉儀一體化,并且具有自動化時空相移、高靈敏度、數(shù)字化等優(yōu)點(diǎn)。 搜索馬 克 數(shù) 據(jù) 網(wǎng) 【專利類型】實(shí)用新型 【申請人】中國船舶重工集團(tuán)公司第七一一研究所 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】200011上海市南江路18號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】黃浦區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620049334.9 【申請日】2006-12-21 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200982854Y 【公開公告日】2007-11-28 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN200982854Y 【授權(quán)公告日】2007-11-28 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號】G01B9/02; G01N21/88; G01N21/45; G02B5/02; G01N21/41 【發(fā)明人】張熹; 陸鵬; 吳君毅; 夏遠(yuǎn)富; 艾鋼; 曾憲友; 鄭長江 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】權(quán)利要求書 1.一種數(shù)字電子剪切散斑干涉儀,包括一激光器、一擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、一剪切鏡、 一剪切鏡驅(qū)動機(jī)構(gòu)、一偏振片、一數(shù)字化成像裝置以及一計(jì)算機(jī),擴(kuò)束機(jī)構(gòu)位于 激光器出射光束的光路上,剪切鏡位于從被測物體表面反射的光束的光路上,剪切 鏡驅(qū)動機(jī)構(gòu)與所述剪切鏡相連并驅(qū)動剪切鏡沿垂直于和平行于反射光束的方向位 移,偏振片設(shè)置于從剪切鏡出射的光束的光路上,數(shù)字化成像裝置位于成像平 面處,計(jì)算機(jī)與數(shù)字化成像裝置連接;其特征在于, 所述剪切鏡為大剪切鏡或小剪切鏡; 所述剪切鏡驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括一水平位移裝置和一垂直位移裝置,所述水平位 移裝置包括水平位移臺、第一步進(jìn)電機(jī)以及第一控制器,所述水平位移臺承載 所述剪切鏡和偏振片,所述第一步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動剪切鏡和偏振片沿平行于反射光 束方向位移,所述第一控制器與第一步進(jìn)電機(jī)電連接;所述垂直位移裝置包括 垂直位移臺、第二步進(jìn)電機(jī)以及第二控制器,所述垂直位移臺垂直于水平面設(shè) 置且與所述水平位移臺相連,所述第二步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動水平位移臺沿垂直于反射 光束方向位移,所述第二控制器與第二步進(jìn)電機(jī)電連接;所述第一控制器和第 二控制器分別連接到所述計(jì)算機(jī)。 (來 自 馬 克 數(shù) 據(jù) 網(wǎng)) 【當(dāng)前權(quán)利人】上海齊耀重工有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)華寧路3111號 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】4 【自引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】4.0 【家族引證次數(shù)】2.0 【家族被引證次數(shù)】4

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