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AlNSiO2納米多層硬質(zhì)薄膜

時(shí)間:2026-04-08    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 3 ) 次

【摘要】 一種AlN/SiO2納 米多層硬質(zhì)薄膜,屬于陶瓷薄膜領(lǐng)域。本發(fā)明由AlN層和 SiO2層交替沉積在金屬或陶瓷 基底上形成,AlN層的厚度為3~6nm, SiO2層厚為0.4~1.2nm。本發(fā)明 AlN/SiO2納米多層硬質(zhì)薄膜具 有SiO2被晶化并與AlN形成共 格外延生長(zhǎng)的超晶格柱狀晶的結(jié)構(gòu)特征。本發(fā)明的 AlN/SiO2納米多層硬質(zhì)薄膜不 但具有優(yōu)良的高溫抗氧化性,而且具有較高的硬度;其硬度高 于28GPa。最高硬度可達(dá)32GPa。本發(fā)明作為高速切削刀具及 其它在高溫條件下服役耐磨工件的涂層,具有很高的應(yīng)用價(jià) 值。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】上海交通大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610029135.6 【申請(qǐng)日】2006-07-20 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1887815A 【公開公告日】2007-01-03 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100381402C 【授權(quán)公告日】2008-04-16 【授權(quán)公告年份】2008.0 【IPC分類號(hào)】C04B41/89; C23C16/34; C23C16/40 【發(fā)明人】李戈揚(yáng); 趙文濟(jì); 孔明; 戴嘉維 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種AlN/SiO2納米多層硬質(zhì)薄膜,其特征在于,SiO2層(1)和AlN層(2) 形成在金屬或陶瓷基體(3)上,SiO2層(1)的厚度為0.4~1.2nm,AlN層(2)的 厚度為3~6nm,AlN/SiO2納米多層硬質(zhì)薄膜的總厚度為2-4μm。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交通大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】1210000042500615X0 【引證次數(shù)】5.0 【被引證次數(shù)】8 【他引次數(shù)】5.0 【被自引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】6.0 【家族引證次數(shù)】7.0 【家族被引證次數(shù)】8

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