【摘要】一種帶放氣閥加壓力表壓力傳感器，在壓力傳感器流質殼體上最佳位置安裝放氣閥加壓力表，當斷電時，傳感器停止工作，由壓力表也可顯示流質殼體壓力。安裝體方便是外螺的管道安裝。使用安裝與維護方便。廣泛應用于航空、航天、石化等惡劣環(huán)境下流體介質
【摘要】 本發(fā)明涉及的是一種MEMS微制造技術領域的 用于直線推進的多弧結構的改性SU8電熱微執(zhí)行器。由SU8 膠懸臂梁、與外部電路連接的左導電層、右導電層構成，SU8 懸臂梁形狀為多弧狀結構，用于直線推進，為玻璃基底上制作 的懸臂梁結構，懸臂梁梁體為摻入納米碳管的SU8膠，左導電 層和右導電層SU8膠懸臂梁的上方，通過下面的左導電層和右 導電層與玻璃基底相連。本發(fā)明得到機械強度和導電性大大增 加的懸臂梁結構，同時有利于減少工作的電流和降低工作溫 度；采用電熱致動方式輸出作用力大，動作可靠；工作電流較 小，溫度較低，對環(huán)境影響小，適應性強。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】上海交通大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610116292.0 【申請日】2006-09-21 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1923670A 【公開公告日】2007-03-07 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN1923670B 【授權公告日】2011-01-05 【授權公告年份】2011.0 【發(fā)明人】張衛(wèi)平; 陳實; 陳文元 【主權項內容】1.一種用于直線推進的多弧結構的改性SU8電熱微執(zhí)行器，其特征在于， 由SU8膠懸臂梁、與外部電路連接的左導電層、右導電層構成，SU8懸臂梁形 狀為多弧狀結構，用于直線推進，為玻璃基底上制作的懸臂梁結構，懸臂梁梁體 為摻入納米碳管的SU8膠，左導電層和右導電層SU8膠懸臂梁的上方，通過下面 的左導電層和右導電層與玻璃基底相連。 【當前權利人】上海交通大學 【當前專利權人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號 【統(tǒng)一社會信用代碼】1210000042500615X0 【被引證次數(shù)】TRUE 【家族被引證次數(shù)】TRUE
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