【摘要】1.本外觀(guān)設(shè)計(jì)是紡織物圖案，省略后視圖； 2.單元圖案四方連續(xù)，無(wú)限定邊界； 3.請(qǐng)求保護(hù)的外觀(guān)設(shè)計(jì)包含有色彩。【專(zhuān)利類(lèi)型】外觀(guān)設(shè)計(jì)【申請(qǐng)人】上海嘉安床上用品有限公司【申請(qǐng)人類(lèi)型】企業(yè)【申請(qǐng)人地址】201106上海市閔行區(qū)北翟路33
【摘要】 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種掃描式離子槍?zhuān)ǚ烹?室，置于放電室內(nèi)的柵極組件以及圍繞放電室的會(huì)聚磁場(chǎng)裝 置，其中，柵極組件由中心均有圓孔的源極、柵極和加速極絕 緣構(gòu)成，會(huì)聚磁場(chǎng)覆蓋源極和柵極，其特征在于：放電室的位 于加速極一側(cè)的端口設(shè)有掃描磁場(chǎng)裝置。該掃描式離子槍通過(guò) 磁場(chǎng)裝置使將離子束在X－Y方向上掃描的方式，實(shí)現(xiàn)了大面 積的均勻的薄膜蝕刻。并且具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造成本低廉的優(yōu) 點(diǎn)。 【專(zhuān)利類(lèi)型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】上海市七寶中學(xué) 【申請(qǐng)人類(lèi)型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】201101上海市閔行區(qū)七寶鎮(zhèn)七中路1號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200620040265.5 【申請(qǐng)日】2006-03-17 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN2879416Y 【公開(kāi)公告日】2007-03-14 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN2879416Y 【授權(quán)公告日】2007-03-14 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】劉陽(yáng)旸 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種掃描式離子槍?zhuān)ǚ烹娛?，置于放電室?nèi)的柵極組件以及圍繞 放電室的會(huì)聚磁場(chǎng)裝置，其中，柵極組件由中心均有圓孔的源極、柵極和加 速極構(gòu)成，會(huì)聚磁場(chǎng)覆蓋源極和柵極，其特征在于：放電室的位于加速極一 側(cè)的端口設(shè)有掃描磁場(chǎng)裝置。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海市七寶中學(xué) 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)七寶鎮(zhèn)七中路1號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】123101124250473143 【被引證次數(shù)】2 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】2
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