【摘要】本發(fā)明涉及一種簡支梁型微電子機械系統(tǒng)探卡 及其制備方法,采用UV-LIGA多次光刻、電鍍工藝在基片上 制備彈性金屬探針,在探針結(jié)構(gòu)上采用簡支梁代替目前的懸臂 梁,以承受和產(chǎn)生更大的刺穿氧化膜應力,并通過設計簡支梁 的厚度來調(diào)節(jié)探針的
【摘要】 1.請求保護的外觀設計包含有色彩。 2.本外觀設計產(chǎn)品為平面產(chǎn)品,省略其他視圖。 【專利類型】外觀設計 【申請人】上海力國針織有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201101上海市閔行區(qū)聯(lián)寶路303號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630033900.2 【申請日】2006-02-24 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3603677D 【公開公告日】2007-01-31 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN3603677D 【授權(quán)公告日】2007-01-31 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】王國達 【主權(quán)項內(nèi)容】無 【當前權(quán)利人】上海力國針織有限公司 【當前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)聯(lián)寶路303號 【專利權(quán)人類型】港、澳、臺
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