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高度取向的氧化鋅納米柱陣列的超聲輔助水溶液制備方法

時(shí)間:2026-04-06    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本發(fā)明涉及一種高度取向的氧化鋅納米柱陣列的超聲輔助水溶液制備方法,具體步驟為:①以鋅鹽為原料,以乙二醇甲醚為溶劑,以有機(jī)胺鹽為螯合劑,制備穩(wěn)定的ZnO溶膠前驅(qū)體;②采用浸漬提拉法或旋轉(zhuǎn)涂覆法將ZnO溶膠前驅(qū)體均勻沉積到玻璃基片上,熱處理后形成透明的ZnO籽晶層,誘導(dǎo)隨后ZnO納米柱陣列的生長(zhǎng);③用鋅鹽、水和六亞甲基四胺按配比制備ZnO納米柱生長(zhǎng)液;④將覆蓋有ZnO籽晶層的基片進(jìn)入到ZnO納米柱生長(zhǎng)液中,在室溫下進(jìn)行超聲預(yù)處理后,升溫至95℃并且保溫6小時(shí)。反應(yīng)終止后,將基片去離子水沖洗、自然干燥后獲得排列整齊的一維ZnO納米柱陣列。使制備的ZnO納米柱陣列的直徑降至100nm以下,且保證其生長(zhǎng)的直立性。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所 【申請(qǐng)人類型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】200050上海市長(zhǎng)寧區(qū)定西路1295號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】長(zhǎng)寧區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610147845.9 【申請(qǐng)日】2006-12-22 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN101009228A 【公開公告日】2007-08-01 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100437950C 【授權(quán)公告日】2008-11-26 【授權(quán)公告年份】2008.0 【IPC分類號(hào)】H01L21/368; C30B29/16; C30B29/62; C01G9/02; B82B3/00; H01L21/02; C01G9/00; C30B29/00; C30B29/10 【發(fā)明人】李效民; 邱健軍; 于偉東; 高相東 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種高度取向的ZnO納米柱陣列的超聲輔助水溶液的制備方法,其 特征在于具體步驟為: ①以鋅鹽為原料,以乙二醇甲醚為溶劑,以有機(jī)胺鹽為螯合劑,制備 穩(wěn)定的ZnO溶膠前驅(qū)體; ②采用浸漬提拉法或旋轉(zhuǎn)涂覆法將ZnO溶膠前驅(qū)體均勻沉積到玻璃基 片上,熱處理后形成透明的ZnO籽晶層,誘導(dǎo)隨后ZnO納米柱陣列的生長(zhǎng); ③用鋅鹽、水和六亞甲基四胺按配比制備ZnO納米柱生長(zhǎng)液; ④將覆蓋有ZnO籽晶層的基片進(jìn)入到ZnO納米柱生長(zhǎng)液中,在室溫下 進(jìn)行超聲預(yù)處理后,升溫至95℃并且保溫6小時(shí)。反應(yīng)終止后,將基片去離 子水沖洗、自然干燥后獲得排列整齊的一維ZnO納米柱陣列; 步驟①中所述的ZnO溶膠前驅(qū)體的濃度為0.1-1M; 步驟②中所述的熱處理溫度為300-350℃,最后升至500-600℃; 步驟③中所述的ZnO納米柱生長(zhǎng)液的濃度為0.025-0.1M; 步驟④中所述的超聲預(yù)處理時(shí)間為5-45min,超聲功率為50-100w連續(xù) 可調(diào); 步驟①和步驟③中無(wú)機(jī)鋅鹽為醋酸鋅或硝酸鋅。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市長(zhǎng)寧區(qū)定西路1295號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000425006547H 【被引證次數(shù)】10 【被他引次數(shù)】10.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】10

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