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單片雙芯或多芯半導(dǎo)體激光氣體傳感器、制作及使用方法

時間:2026-04-06    作者:admin 點擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本發(fā)明涉及一種單片雙芯或多芯半導(dǎo)體激光氣 體傳感器,其特征在于它由封裝于同一管殼熱沉上的制作于同 一單片襯底上的激光器芯組成的單片雙芯或多芯激光器、用于 熱沉溫度控制的熱電控溫電路、時分驅(qū)動電路、用于吸收和參 比光信號探測的光電探測器、放大及時分解調(diào)電路、以及比較 電路和顯示輸出電路組成。本發(fā)明利用目標(biāo)氣體對吸收激光器 產(chǎn)生的特定波長激光的吸收特性進(jìn)行氣體濃度測量,也利用目 標(biāo)氣體對參比激光器產(chǎn)生的相近特定波長激光的透過特性作 為參比信號以抵消其他損耗和波動的影響。此傳感器的核心是 單片雙芯或多芯半導(dǎo)體激光器和一只光電探測器,易于一體 化、小型化和集成化;是一種普適的采用 半導(dǎo)體激光的氣體傳感器,通用性強(qiáng)。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】200050上海市長寧區(qū)長寧路865號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】長寧區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610117006.2 【申請日】2006-10-11 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1945284A 【公開公告日】2007-04-11 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100491973C 【授權(quán)公告日】2009-05-27 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號】G01N21/25; H01S5/00 【發(fā)明人】張永剛; 李愛珍; 齊鳴; 封松林 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種單片雙芯半導(dǎo)體激光氣體傳感器,其特征在于所述的半導(dǎo)體激 光傳感器是由①封裝于同一管殼熱沉上的制作于同一單片襯底上的兩個激 光器芯組成的單片雙芯激光器;②用于熱沉溫度控制的熱電溫度控制電路; ③調(diào)節(jié)兩個激光器的時分驅(qū)動電路;④用于吸收和參比光信號探測的光電 探測器;⑤用于放大和解調(diào)吸收和參比電信號的放大及時分解調(diào)電路;⑥ 對已解調(diào)的兩路吸收和參比電信號進(jìn)行比較并產(chǎn)生一路正比于目標(biāo)氣體濃 度信號的比較電路及氣體濃度顯示電路所組成的。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市長寧區(qū)長寧路865號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000425006790C 【被引證次數(shù)】10 【被他引次數(shù)】10.0 【家族引證次數(shù)】4.0 【家族被引證次數(shù)】10

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