【摘要】一種壓差控制真空釋放閥，包括閥體和與閥體螺紋連接的閥座以及設(shè)置在閥座內(nèi)的閥芯、壓縮彈簧，所述閥體為一筒形件，其一端設(shè)置有對(duì)閥芯限位的凸臺(tái)和彈簧擋邊，另一端設(shè)置有與閥座螺紋連接的內(nèi)螺紋，所述閥座內(nèi)設(shè)置有閥芯孔，外設(shè)有與閥體螺紋連接的外
【摘要】 本發(fā)明公開(kāi)了一種帶有增透會(huì)聚微鏡的紅外焦 平面探測(cè)器及微鏡制備方法，該探測(cè)器，包括：紅外光敏元列 陣芯片、讀出電路、混成互連銦柱和增透會(huì)聚微鏡列陣。所說(shuō) 的增透會(huì)聚微鏡列陣是由紅外光敏元列陣芯片的襯底背面生 長(zhǎng)一增透膜，通過(guò)常規(guī)的等離子體組合刻蝕形成的。微鏡制備 方法采用了記憶焦平面探測(cè)芯片正面圖形的光刻方法，獲得的 背向集成微透鏡列陣的各個(gè)光軸在空間上與其對(duì)應(yīng)的光敏像 元的光敏面中心法線重合。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：由于增透會(huì)聚微 鏡中心區(qū)域的增透效果，以及周邊區(qū)域的會(huì)聚作用，既能提高 新一代高密度像元紅外焦平面探測(cè)器的光電流信號(hào)，又能減小 相鄰像元之間的空間串音。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 【申請(qǐng)人類型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】200083上海市玉田路500號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】虹口區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610118053.9 【申請(qǐng)日】2006-11-08 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN1949508A 【公開(kāi)公告日】2007-04-18 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100433328C 【授權(quán)公告日】2008-11-12 【授權(quán)公告年份】2008.0 【IPC分類號(hào)】H01L25/18; H01L27/144; H01L21/822; H01L21/70 【發(fā)明人】葉振華; 周文洪; 廖清君; 胡曉寧; 王晨飛; 丁瑞軍 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種帶有增透會(huì)聚微鏡的紅外焦平面探測(cè)器，包括：紅外光敏元列陣芯 片(1)、讀出電路(2)、混成互連銦柱(3)和增透會(huì)聚微鏡列陣(4)；紅外焦 平面探測(cè)器由紅外光敏元列陣芯片(1)通過(guò)混成互連銦柱(3)與讀出電路(2) 電連接構(gòu)成；紅外光敏元列陣芯片由襯底(101)，襯底上置有響應(yīng)紅外目標(biāo)輻 射的光敏元列陣(102)構(gòu)成；在襯底上，在光敏元列陣的旁邊還有原本用于與 讀出電路連接的至少二個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(103)；其特征在于： 所說(shuō)的增透會(huì)聚微鏡列陣(4)是置于紅外光敏元列陣芯片的襯底背面，增 透會(huì)聚微鏡列陣中的各個(gè)微鏡在空間上，分別一一垂直對(duì)應(yīng)于光敏元列陣中的 各個(gè)光敏元，且每一個(gè)微鏡的光軸與其對(duì)應(yīng)的光敏元的光敏面中心法線重合； 該微鏡的面形中間為平面，四周是曲率半徑為30-50μm的倒角；所說(shuō)的增透會(huì) 聚微鏡列陣由透紅外光的半導(dǎo)體材料制成；入射紅外目標(biāo)輻射經(jīng)微鏡匯聚于光 敏元的中心區(qū)域。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市玉田路500號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000425005579K 【被引證次數(shù)】16 【被自引次數(shù)】7.0 【被他引次數(shù)】9.0 【家族引證次數(shù)】6.0 【家族被引證次數(shù)】20
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