【摘要】1.該產品為平面產品。 2.后視圖無設計要點，省略后視圖。 3.請求保護的外觀設計包含有色彩?！緦＠愋汀客庥^設計【申請人】社團法人浦東新區(qū)工程師協(xié)會; 黃翀宇【申請人類型】個人,機關團體【申請人地址】201203上海市張江高科技園
【摘要】 一種背向集成微透鏡紅外焦平面探測器及微透 鏡的制備方法，該探測器包括：紅外光敏元列陣芯片、讀出電 路、混成互連銦柱和微透鏡列陣。微透鏡列陣是在紅外光敏元 列陣芯片的襯底背面直接通過微機械加工形成的。采用了記憶 焦平面探測芯片正面圖形的光刻方法以及等離子體組合刻蝕 技術，獲得的背向集成微透鏡各個光軸在空間上與其對應的光 敏像元的光敏面中心法線重合。本發(fā)明的最大優(yōu)點是微透鏡列 陣的引入，對入射目標紅外輻射有會聚功能，既提高了紅外焦 平面探測器光敏元的響應率，又能減小紅外焦平面探測器、特 別是高密度像元的紅外焦平面探測器相鄰像元之間的空間串 音。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學院上海技術物理研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】200083上海市玉田路500號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】虹口區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610117106.5 【申請日】2006-10-13 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1933149A 【公開公告日】2007-03-21 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100444381C 【授權公告日】2008-12-17 【授權公告年份】2008.0 【發(fā)明人】葉振華; 周文洪; 胡曉寧; 王晨飛; 丁瑞軍; 何力 【主權項內容】1.一種背向集成微透鏡紅外焦平面探測器，包括：紅外光敏元列陣芯片(1)、 讀出電路(2)、混成互連銦柱(3)和微透鏡列陣(4)；紅外焦平面探測器由紅 外光敏元列陣芯片(1)通過混成互連銦柱(3)與讀出電路(2)電連接構成； 紅外光敏元列陣芯片(1)由襯底(101)，襯底上置有響應紅外目標輻射的光敏 元列陣(102)構成；在襯底(101)上，在光敏元列陣的旁邊還有原本用于與 讀出電路連接的至少二個對準標記(103)；其特征在于： 所說的微透鏡列陣(4)是直接通過微機械加工在紅外光敏元列陣芯片的襯 底(101)背面形成的，微透鏡列陣中的各個微透鏡在空間上，分別一一垂直對 應于光敏元列陣(102)中的各個光敏元，且每一個微透鏡的光軸與其對應的光 敏元的光敏面中心法線重合，入射紅外目標輻射經微透鏡匯聚于光敏元的中心 區(qū)域。 【當前權利人】中國科學院上海技術物理研究所 【當前專利權人地址】上海市玉田路500號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000425005579K 【被引證次數】16 【被自引次數】3.0 【被他引次數】13.0 【家族被引證次數】16
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