【摘要】一種水和污水的氣態(tài)氯快速消毒法，直接使用氯氣而不是將其配成氯溶液再做為消毒劑與待消毒原水混合，在固定混合器中完成消毒過程，數(shù)秒內(nèi)即可使大腸菌群數(shù)下降99.99％以上，并節(jié)省投氯量。由于消毒速度快、設(shè)備體積小，特別適用于中小型水或污水
【摘要】 本發(fā)明提供一種對準(zhǔn)標(biāo)記及其制造方法，主要用 于光刻裝置的掩模和晶片對準(zhǔn)；該對準(zhǔn)標(biāo)記包括第一部分結(jié)構(gòu) 和第二部分結(jié)構(gòu)，其中，第二部分結(jié)構(gòu)包括第一光柵和第二光 柵。該第一光柵的周期和第二光柵的周期互不相同且分別分布 在第一部分結(jié)構(gòu)兩側(cè)。第一光柵是高階衍射光增強型光柵，并 且其基本周期內(nèi)有一些細(xì)分結(jié)構(gòu)，可以使零級和偶數(shù)級次衍射 光斑的能量轉(zhuǎn)移到其它奇數(shù)級次上，同時增強多個奇數(shù)級次的 衍射光光強。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的對準(zhǔn)標(biāo)記結(jié)構(gòu)緊湊、 能夠提高光刻裝置對準(zhǔn)系統(tǒng)的對準(zhǔn)精度和工藝適應(yīng)性。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】上海微電子裝備有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201203上海市張江高科技園區(qū)張東路1525號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610117227.X 【申請日】2006-10-18 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1936710A 【公開公告日】2007-03-28 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100456142C 【授權(quán)公告日】2009-01-28 【授權(quán)公告年份】2009.0 【發(fā)明人】徐榮偉; 李鐵軍 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種對準(zhǔn)標(biāo)記，主要用于光刻裝置的掩模和晶片對準(zhǔn)；其特征在于，該對準(zhǔn) 標(biāo)記包括第一部分結(jié)構(gòu)和第二部分結(jié)構(gòu)，其中，第二部分結(jié)構(gòu)包括第一光柵和 第二光柵，該第一光柵的周期和第二光柵的周期互不相同且分別分布在第一部 分結(jié)構(gòu)兩側(cè)。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市浦東新區(qū)張東路1525號 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310000736664790J 【被引證次數(shù)】36 【被自引次數(shù)】8.0 【家族被引證次數(shù)】36
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